半導体微細加工技術を応用すれば,シリコン基板上にミクロンサイズの微小なミラー等の光学部品を集積加工することができます.しかも,このミラーは静電気を使って機械的に動かすことができるのです.このように小さな機械構造を微小光学分野に応用する「光メカトロニクス」は,投影型の映像ディスプレーや,光ファイバスイッチ,データストレージなどの情報通信機器に応用可能な重要な技術分野であり,マイクロエレクトロニクス(電気系),マイクロメカニクス(機械系)とマイクロオプティクス(光学系)が重なり合った融合領域の研究です.
従来の光メカトロニクス研究は,微小な光学素子を製作して,それらを用いて光の向きや強度を制御する技術を中心に研究開発されていました.一方,本プロジェクトの「光メカトロニクス」では,従来とは逆に,光を用いて微小な機械を制御する新しい試みに挑戦します.この技術が確立すれば,光と微小機械(=メカ)がお互いに影響を及ぼし合い,メカを介して光で光を制御する新しい機能性デバイスの創造が可能になります.
本プロジェクトでは,光とメカが相互作用する仕組みを集積化するためのデバイス設計,製造方法を研究し,光を用いた空間論理演算,光ファイバ通信機器,情報記憶装置などへ応用展開して産業界への貢献を目指します.
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