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マイクロメカトロニクス

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成績評価

教科書・参考書

とくに指定なし。

配付資料

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講義予定

チャプター
MEMS序論(歴史、特徴、製品、S&A、生体分子モータ)
演習:プロセス概略(フォトリソ、2D、3D、表面μM、モータ)
理論:材料力学(応力、歪、梁の曲げ、合成バネ)
理論:静電駆動力(ガウス、仮想変位、プルイン)
演習:回路シミュレータ演習(LTspice基本操作、運動方程式)
理論:共振現象(ゲイン、位相、共振周波数、Q値)
演習:静電解析(アクチュエータ・デモ、静電容量、加速度センサ)
演習:静電解析(加速度センサ、シリコン共振子、発振回路)
理論・演習:ジャイロスコープ
10理論:振動発電
11演習:静電解析(振動発電)
12理論:ピエゾ抵抗センサー
13レポート課題説明

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Introduction to Dept. Informatics and Electronics, IIS
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Last-modified: 2024-03-05 (火) 23:41:35