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| 週 | チャプター |
| １ | ＭＥＭＳ序論（歴史、特徴、製品、Ｓ＆Ａ、生体分子モータ） |
| ２ | 演習：プロセス概略（フォトリソ、２Ｄ、３Ｄ、表面μＭ、モータ） |
| ３ | 理論：材料力学（応力、歪、梁の曲げ、合成バネ） |
| ４ | 理論：静電駆動力（ガウス、仮想変位、プルイン） |
| ５ | 演習：回路シミュレータ演習（LTspice基本操作、運動方程式） |
| ６ | 理論：共振現象（ゲイン、位相、共振周波数、Ｑ値） |
| ７ | 演習：静電解析（アクチュエータ・デモ、静電容量、加速度センサ） |
| ８ | 演習：静電解析（加速度センサ、シリコン共振子、発振回路） |
| ９ | 理論・演習：ジャイロスコープ |
| １０ | 理論：振動発電 |
| １１ | 演習：静電解析（振動発電） |
| １２ | 理論：ピエゾ抵抗センサー |
| １３ | レポート課題説明 |
2024-04-28 (日) 09:07:46
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