![[PukiWiki]](image/XYstage.jpg "[PukiWiki]")
配布リンクは開設６０日後に自動的にリンクが切れますので、再開希望の際には担当教員に連絡してください
 |
とくに指定なし。
| 週 | チャプター |
| １ | ＭＥＭＳ序論（歴史、特徴、製品、Ｓ＆Ａ、生体分子モータ） |
| ２ | 演習：プロセス概略（フォトリソ、２Ｄ、３Ｄ、表面μＭ、モータ） |
| ３ | 理論：材料力学（応力、歪、梁の曲げ、合成バネ） |
| ４ | 理論：静電駆動力（ガウス、仮想変位、プルイン） |
| ５ | 演習：回路シミュレータ演習（LTspice基本操作、運動方程式） |
| ６ | 理論：共振現象（ゲイン、位相、共振周波数、Ｑ値） |
| ７ | 演習：静電解析（アクチュエータ・デモ、静電容量、加速度センサ） |
| ８ | 演習：静電解析（加速度センサ、シリコン共振子、発振回路） |
| ９ | 理論・演習：ジャイロスコープ |
| １０ | 理論：振動発電 |
| １１ | 演習：静電解析（振動発電） |
| １２ | 理論：ピエゾ抵抗センサー |
| １３ | レポート課題説明 |
2026-09-08 (火) 03:17:24
Total 2607
Today 1
Yesterday 0
(Now 3)
生研ウェブマガジン記事
電気と機械を行ったり来たり――ＭＥＭＳ
