News/2018-03-18

2019-02-16 (土) 10:48:11 (277d)

応物・集積化MEMS技術研究会10周年ワークショップを開催しました。
The 10-th anniversary symposium of JSAP integrated MEMS.
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第65回応用物理学会春期学術講演会で集積化MEMS技術研究会主催の特別シンポジウム「集積化MEMSの発展と展望〜集積化MEMS技術研究会発足10周年記念シンポジウム」を開催しました。

昨年10月の集積化MEMSシンポジウムで発表した論文2件が表彰されました。
Two papers reported in the Integrated MEMS Symposium last year win paper awards.
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  • 本間浩章、三屋裕幸、橋口 原、藤田博之、年吉 洋、「左右対称構造により静電拘束力を抑制した低G用のMEMS振動発電素子」 応用物理学会 集積化MEMS技術研究会主催 第9回集積化MEMSシンポジウム、2017年10月31日~11月2日、広島国際会議場.(優秀論文賞
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  • 小西敏文、山根大輔、佐布晃昭、曽根正人、年吉 洋、益 一哉、町田克之、「積層メタル技術を用いたMEMS慣性センサの構造設計のための粘性定数モデルの検討」 応用物理学会 集積化MEMS技術研究会主催 第9回集積化MEMSシンポジウム、2017年10月31日~11月2日、広島国際会議場.(優秀ポスター賞