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MEMS教科書 2005-08-23

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ラボ用静電マイクロアクチュエータ設計教科書(10MB)を公開中。まだ誤植がありますので、自己責任でお使いください。

http://toshi.iis.u-tokyo.ac.jp/toshilab/dropbox/MEMS20050823.pdf


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Last-modified: Sun, 03 Sep 2017 10:18:56 JST (16d)