MEMS Jumpstart Textbook

2018-11-24 (土) 20:57:39 (84d)

MEMS教科書
MEMS Textbook 2005-08-23

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ラボ用静電マイクロアクチュエータ設計教科書(10MB)を公開中。まだ誤植がありますので、自己責任でお使いください。

A PDF copy of "SOI MEMS Actuator" is available (in Japanese, 10 MB).

http://toshi.iis.u-tokyo.ac.jp/toshilab/dropbox/MEMS20050823.pdf