Research/Programmable MEMS PZT Resonator Array の変更点

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*&multilang(ja_JP){プログラマブルＭＥＭＳ-ＰＺＴ共振子アレイ};&multilang(en_US){Programmable MEMS PZT Resonator Array}; [#ke3c2122]
#author("2019-02-17T14:42:34+00:00","default:hiroshi","hiroshi")
*プログラマブルＭＥＭＳ-ＰＺＴ共振子アレイ&br;Programmable MEMS PZT Resonator Array [#mb3abe06]

-&color(Red){Coming soon to IIS Open House 2013 (May 31 - June 1)};.

#ref(PZTresonators1.png,around,nolink,50%)

#clear

*&multilang(ja_JP){参考文献};&multilang(en_US){References}; [#ed451c4f]
*参考文献&br;References [#w6f853cf]
+Nicolas Lafitte, "DIGITALLY PROGRAMMABLE RESONATOR BY PZT-SOI PROCESS," in Proc. 17th Int. Conf on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers 2013), Barcelona, Spain, June 16-20, 2013.