![[PukiWiki]](image/XYstage.jpg "[PukiWiki]")
#author("2023-09-24T09:10:51+00:00","default:hiroshi","hiroshi") #author("2024-03-05T14:41:35+00:00","default:hiroshi","hiroshi") &color(red){配布リンクは開設６０日後に自動的にリンクが切れますので、再開希望の際には担当教員に連絡してください}; *マイクロメカトロニクス [#d4234771] **時間割コード [#p82068dc] -東京大学大学院工学系研究科 ３７４７−０２１ **教室 [#k8dedfb2] -本郷・工学系新２号館２４４教室 **授業日 [#x769dbe9] -毎週月曜日２限 -Ａセメスター、毎週月曜日３限 **授業の方法 [#tc3f714e] #ref(project.jpg,wrap,right,around,zoom,350x350) -平行平板型静電アクチュエータの等価回路を基本にして、そこからＭＥＭＳアクチュエータ、静電容量型センサ（加速度センサ）、可変静電容量（ＲＦ−ＭＥＭＳキャパシタ）、可変リアクタ、共振回路、ジャイロスコープ、静電誘導型振動発電（エナジーハーベスタ）の等価回路モデルを導出し、これらのＭＥＭＳ機構の動作を電気回路の観点から理解します。 -ＰＣプロジェクタ＋配布資料、または、板書 -第５回〜第８回にはノートＰＣを持参。電子回路シミュレータ（LTspice 最新版）をインストールしておくこと。 --LTspice: http://www.analog.com/jp/design-center/design-tools-and-calculators/ltspice-simulator.html **成績評価 [#tdff5782] -授業レポート **教科書・参考書 [#aedb9922] とくに指定なし。 *配付資料 [#yb1b4ef0] -ＬＴｓｐｉｃｅによるＭＥＭＳ等価回路ライブラリ（配布リンクは開設６０日後に自動的にリンクが切れますので、再開希望の際には担当教員に連絡してください） --https://webfs.iis.u-tokyo.ac.jp/public/yHr8gAHHTUiAOpUBLc5m70G30wuaAPOp6Tl_FH-55pKg //--https://webfs.iis.u-tokyo.ac.jp/public/yHr8gAHHTUiAOpUBLc5m70G30wuaAPOp6Tl_FH-55pKg -加速度センサ、シリコン共振子 --https://webfs.iis.u-tokyo.ac.jp/public/jHscgAzHQYiAOEsByrpnpU8IRo0bsP3butlM4okLC8EC //--https://webfs.iis.u-tokyo.ac.jp/public/jHscgAzHQYiAOEsByrpnpU8IRo0bsP3butlM4okLC8EC -振動発電素子 --https://webfs.iis.u-tokyo.ac.jp/public/vHmwgAAHsUiA1A0BvdFn26O5WtmJ43E4kgmzJyLMr7sP //--https://webfs.iis.u-tokyo.ac.jp/public/vHmwgAAHsUiA1A0BvdFn26O5WtmJ43E4kgmzJyLMr7sP #ref(LTspiceModel2018-10-28.jpg,zoom,400x300) **講義予定 [#zadbb5c0] |RIGHT:|CENTER:|c |週|チャプター| |RIGHT:BGCOLOR(white):|LEFT:BGCOLOR(white):|c // |１|ＭＥＭＳ序論（歴史、特徴、製品、Ｓ＆Ａ、生体分子モータ）| |２|演習：プロセス概略（フォトリソ、２Ｄ、３Ｄ、表面μＭ、モータ）| |３|理論：材料力学（応力、歪、梁の曲げ、合成バネ）| |４|理論：静電駆動力（ガウス、仮想変位、プルイン）| |５|演習：回路シミュレータ演習（LTspice基本操作、運動方程式）| |６|理論：共振現象（ゲイン、位相、共振周波数、Ｑ値）| |７|演習：静電解析（アクチュエータ・デモ、静電容量、加速度センサ）| |８|演習：静電解析（加速度センサ、シリコン共振子、発振回路）| |９|理論・演習：ジャイロスコープ| |１０|理論：振動発電| |１１|演習：静電解析（振動発電）| |１２|理論：ピエゾ抵抗センサー| |１３|レポート課題説明|
