#side(Publication)
[[Publication/Coursework and Lecture]]
#author("2023-09-02T04:32:19+00:00","default:hiroshi","hiroshi")

*修士実験 MEMSセンサ・アクチュエータの等価回路モデル構築 [#q1445012]

**実施要領 [#f6dc66b4]
+年度:通年
+受入グループ数:1(すなわち2名)
+受入期間:第1期(5月上旬〜6月上旬)、第2期(6月上旬〜7月上旬)

**スケジュール [#j9d54d8a]
+第1回目(ガイダンス)~
実験内容の概略と準備する道具等の説明、次回以降(2回分)の日程調整。
+第2回目(MEMS測定実験)~
既製のMEMSアクチュエータ素子の特性を評価して、変位-駆動電圧や、振幅の周波数特性などのデータを取得し、等価回路モデル構築の方法を指示する。
+第3回目(等価回路モデル検証)~
測定実データと等価回路モデルによるフィッティングを定量的に検証する。

**準備するもの [#g4613624]
+管理権限のあるノートPCに、回路シミュレータ[[Qucs Project>http://qucs.sourceforge.net/]]をインストールしておくこと。~
download をクリック → 画面のずっと下の方にOS毎のインストールファイルがある
+電気回路シミュレータ Qucs の使用法をわかりやすく解説した[[「QUCS入門」(山梨大学 大木 真先生)>http://www.sp.es.yamanashi.ac.jp/~ohki/qucs/qucs.html]]を読んでおくこと。
+[[このページ>[[DAIQ]]]]の下の方にある配布パッケージその2(test2011-05-26_prj.zip)をダウンロードして、動作を確認しておくこと。
+下記の論文をダウンロードして読んでおくこと。~
Makoto Mita and Hiroshi Toshiyoshi, "An Equivalent-circuit Model for MEMS Electrostatic Actuator using Open-source Software Qucs," IEICE Electronics Express, vol 6, no. 5, 2009, pp. 256-263.~
#ref(20642_ftp.pdf)


トップ   編集 差分 履歴 添付 複製 名前変更 リロード   新規 一覧 検索 最終更新   ヘルプ   最終更新のRSS