#side(Publication) [[Publication/Coursework and Lecture]] #author("2023-09-02T04:32:19+00:00","default:hiroshi","hiroshi") *修士実験 MEMSセンサ・アクチュエータの等価回路モデル構築 [#q1445012] **実施要領 [#f6dc66b4] +年度:通年 +受入グループ数:1(すなわち2名) +受入期間:第1期(5月上旬〜6月上旬)、第2期(6月上旬〜7月上旬) **スケジュール [#j9d54d8a] +第1回目(ガイダンス)~ 実験内容の概略と準備する道具等の説明、次回以降(2回分)の日程調整。 +第2回目(MEMS測定実験)~ 既製のMEMSアクチュエータ素子の特性を評価して、変位-駆動電圧や、振幅の周波数特性などのデータを取得し、等価回路モデル構築の方法を指示する。 +第3回目(等価回路モデル検証)~ 測定実データと等価回路モデルによるフィッティングを定量的に検証する。 **準備するもの [#g4613624] +管理権限のあるノートPCに、回路シミュレータ[[Qucs Project>http://qucs.sourceforge.net/]]をインストールしておくこと。~ download をクリック → 画面のずっと下の方にOS毎のインストールファイルがある +電気回路シミュレータ Qucs の使用法をわかりやすく解説した[[「QUCS入門」(山梨大学 大木 真先生)>http://www.sp.es.yamanashi.ac.jp/~ohki/qucs/qucs.html]]を読んでおくこと。 +[[このページ>[[DAIQ]]]]の下の方にある配布パッケージその2(test2011-05-26_prj.zip)をダウンロードして、動作を確認しておくこと。 +下記の論文をダウンロードして読んでおくこと。~ Makoto Mita and Hiroshi Toshiyoshi, "An Equivalent-circuit Model for MEMS Electrostatic Actuator using Open-source Software Qucs," IEICE Electronics Express, vol 6, no. 5, 2009, pp. 256-263.~ #ref(20642_ftp.pdf)