電気系工学・修士実験

2013-07-07 (日) 00:20:52 (2328d)

Publication/Coursework and Lecture

修士実験 MEMSセンサ・アクチュエータの等価回路モデル構築

実施要領

  1. 年度:通年
  2. 受入グループ数:1(すなわち2名)
  3. 受入期間:第1期(5月上旬〜6月上旬)、第2期(6月上旬〜7月上旬)

スケジュール

  1. 第1回目(ガイダンス)
    実験内容の概略と準備する道具等の説明、次回以降(2回分)の日程調整。
  2. 第2回目(MEMS測定実験)
    既製のMEMSアクチュエータ素子の特性を評価して、変位-駆動電圧や、振幅の周波数特性などのデータを取得し、等価回路モデル構築の方法を指示する。
  3. 第3回目(等価回路モデル検証)
    測定実データと等価回路モデルによるフィッティングを定量的に検証する。

準備するもの

  1. 管理権限のあるノートPCに、回路シミュレータQucs Projectをインストールしておくこと。
    download をクリック → 画面のずっと下の方にOS毎のインストールファイルがある
  2. 電気回路シミュレータ Qucs の使用法をわかりやすく解説した「QUCS入門」(山梨大学 大木 真先生)を読んでおくこと。
  3. このページの下の方にある配布パッケージその2(test2011-05-26_prj.zip)をダウンロードして、動作を確認しておくこと。
  4. 下記の論文をダウンロードして読んでおくこと。
    Makoto Mita and Hiroshi Toshiyoshi, "An Equivalent-circuit Model for MEMS Electrostatic Actuator using Open-source Software Qucs," IEICE Electronics Express, vol 6, no. 5, 2009, pp. 256-263.