News/2018-03-18 の履歴(No.1)

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  • 1 (2023-08-22 (火) 17:52:29)

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応物・集積化ＭＥＭＳ技術研究会１０周年ワークショップを開催しました。
The 10-th anniversary symposium of JSAP integrated MEMS.
2018-03-18†

第６５回応用物理学会春期学術講演会で集積化ＭＥＭＳ技術研究会主催の特別シンポジウム「集積化ＭＥＭＳの発展と展望〜集積化ＭＥＭＳ技術研究会発足１０周年記念シンポジウム」を開催しました。

• https://meeting.jsap.or.jp/special-symposium

昨年１０月の集積化ＭＥＭＳシンポジウムで発表した論文２件が表彰されました。
Two papers reported in the Integrated MEMS Symposium last year win paper awards.
2018-03-18†

• 本間浩章、三屋裕幸、橋口　原、藤田博之、年吉　洋、「左右対称構造により静電拘束力を抑制した低Ｇ用のＭＥＭＳ振動発電素子」　応用物理学会　集積化ＭＥＭＳ技術研究会主催 第９回集積化ＭＥＭＳシンポジウム、２０１７年１０月３１日～１１月２日、広島国際会議場．（優秀論文賞）

• 小西敏文、山根大輔、佐布晃昭、曽根正人、年吉　洋、益　一哉、町田克之、「積層メタル技術を用いたＭＥＭＳ慣性センサの構造設計のための粘性定数モデルの検討」 応用物理学会　集積化ＭＥＭＳ技術研究会主催 第９回集積化ＭＥＭＳシンポジウム、２０１７年１０月３１日～１１月２日、広島国際会議場．（優秀ポスター賞）