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マイクロメカトロニクス

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教室

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授業の方法

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成績評価

教科書・参考書

とくに指定なし。

配付資料

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講義予定

日付チャプター
10月 1日(月)MEMS序論(歴史、特徴、製品、S&A、生体分子モータ)
10月15日(月)演習:プロセス概略(フォトリソ、2D、3D、表面μM、モータ)
10月22日(月)理論:材料力学(応力、歪、梁の曲げ、合成バネ)
10月29日(月)理論:静電駆動力(ガウス、仮想変位、プルイン)
11月 5日(月)演習:回路シミュレータ演習(LTspice基本操作、運動方程式)
11月 8日(木)理論:共振現象(ゲイン、位相、共振周波数、Q値)
11月12日(月)演習:静電解析(アクチュエータ・デモ、静電容量、加速度センサ)
11月19日(月)演習:静電解析(加速度センサ、シリコン共振子、発振回路)
12月 3日(月)理論・演習:ジャイロスコープ
12月10日(月)10理論:振動発電
12月17日(月)11演習:静電解析(振動発電)
12月26日(水)12休講
 1月 7日(月)13レポート課題の説明、その他

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