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| 日付 | 週 | チャプター |
| １０月 １日（月） | １ | ＭＥＭＳ序論（歴史、特徴、製品、Ｓ＆Ａ、生体分子モータ） |
| １０月１５日（月） | ２ | 演習：プロセス概略（フォトリソ、２Ｄ、３Ｄ、表面μＭ、モータ） |
| １０月２２日（月） | ３ | 理論：材料力学（応力、歪、梁の曲げ、合成バネ） |
| １０月２９日（月） | ４ | 理論：静電駆動力（ガウス、仮想変位、プルイン） |
| １１月 ５日（月） | ５ | 演習：回路シミュレータ演習（LTspice基本操作、運動方程式） |
| １１月 ８日（木） | ６ | 理論：共振現象（ゲイン、位相、共振周波数、Ｑ値） |
| １１月１２日（月） | ７ | 演習：静電解析（アクチュエータ・デモ、静電容量、加速度センサ） |
| １１月１９日（月） | ８ | 演習：静電解析（加速度センサ、シリコン共振子、発振回路） |
| １２月 ３日（月） | ９ | 理論・演習：ジャイロスコープ |
| １２月１０日（月） | １０ | 理論：振動発電 |
| １２月１７日（月） | １１ | 演習：静電解析（振動発電） |
| １２月２６日（水） | １２ | 休講 |
| １月 ７日（月） | １３ | レポート課題の説明、その他 |
