電気系工学・修士実験 の履歴(No.1)

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  • 1 (2023-09-02 (土) 13:32:04)
  • 2 (2023-09-02 (土) 13:32:19)

#side(Publication) Publication/Coursework and Lecture

修士実験　ＭＥＭＳセンサ・アクチュエータの等価回路モデル構築†

実施要領†

1. 年度：通年
2. 受入グループ数：１（すなわち２名）
3. 受入期間：第１期（５月上旬〜６月上旬）、第２期（６月上旬〜７月上旬）

スケジュール†

1. 第１回目（ガイダンス）
   実験内容の概略と準備する道具等の説明、次回以降（２回分）の日程調整。
2. 第２回目（ＭＥＭＳ測定実験）
   既製のＭＥＭＳアクチュエータ素子の特性を評価して、変位-駆動電圧や、振幅の周波数特性などのデータを取得し、等価回路モデル構築の方法を指示する。
3. 第３回目（等価回路モデル検証）
   測定実データと等価回路モデルによるフィッティングを定量的に検証する。

準備するもの†

1. 管理権限のあるノートＰＣに、回路シミュレータQucs Projectをインストールしておくこと。
   download をクリック → 画面のずっと下の方にＯＳ毎のインストールファイルがある
2. 電気回路シミュレータ Qucs の使用法をわかりやすく解説した「ＱＵＣＳ入門」（山梨大学　大木　真先生）を読んでおくこと。
3. このページの下の方にある配布パッケージその２（test2011-05-26_prj.zip）をダウンロードして、動作を確認しておくこと。
4. 下記の論文をダウンロードして読んでおくこと。
   Makoto Mita and Hiroshi Toshiyoshi, "An Equivalent-circuit Model for MEMS Electrostatic Actuator using Open-source Software Qucs," IEICE Electronics Express, vol 6, no. 5, 2009, pp. 256-263.
   

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