配布リンクは開設６０日後に自動的にリンクが切れますので、再開希望の際には担当教員に連絡してください
マイクロメカトロニクス†
時間割コード†
授業日†
授業の方法†
- 平行平板型静電アクチュエータの等価回路を基本にして、そこからＭＥＭＳアクチュエータ、静電容量型センサ（加速度センサ）、可変静電容量（ＲＦ−ＭＥＭＳキャパシタ）、可変リアクタ、共振回路、ジャイロスコープ、静電誘導型振動発電（エナジーハーベスタ）の等価回路モデルを導出し、これらのＭＥＭＳ機構の動作を電気回路の観点から理解します。
- ＰＣプロジェクタ＋配布資料、または、板書
- 第５回〜第８回にはノートＰＣを持参。電子回路シミュレータ（LTspice 最新版）をインストールしておくこと。
- Ｍａｃユーザーで、最近のLTspice (Build 25 Oct 2018) をインストールした結果、グラフィック・スクリーンのリフレッシュに問題が生じて画面が見えづらくなっている人は、下記のリンクからZipファイルをダウンロードして（授業パスワード必要）、デスクトップ上で回答した後に、マックのApplicationフォルダにコピーして下さい。ただし、いつでも復旧できるようにApplicationフォルダにあったLTspiceをrenameしておくこと。
成績評価†
教科書・参考書†
とくに指定なし。
配付資料†
- ＬＴｓｐｉｃｅによるＭＥＭＳ等価回路ライブラリ（配布リンクは開設６０日後に自動的にリンクが切れますので、再開希望の際には担当教員に連絡してください）
- 加速度センサ、シリコン共振子（追加ライブラリ、２０１８年１１月１２日）
- 振動発電素子（追加ライブラリ、２０１８年１２月１７日）
講義予定†
| 日付 | 週 | チャプター |
| １０月 １日（月） | １ | ＭＥＭＳ序論（歴史、特徴、製品、Ｓ＆Ａ、生体分子モータ） |
| １０月１５日（月） | ２ | 演習：プロセス概略（フォトリソ、２Ｄ、３Ｄ、表面μＭ、モータ） |
| １０月２２日（月） | ３ | 理論：材料力学（応力、歪、梁の曲げ、合成バネ） |
| １０月２９日（月） | ４ | 理論：静電駆動力（ガウス、仮想変位、プルイン） |
| １１月 ５日（月） | ５ | 演習：回路シミュレータ演習（LTspice基本操作、運動方程式） |
| １１月 ８日（木） | ６ | 理論：共振現象（ゲイン、位相、共振周波数、Ｑ値） |
| １１月１２日（月） | ７ | 演習：静電解析（アクチュエータ・デモ、静電容量、加速度センサ） |
| １１月１９日（月） | ８ | 演習：静電解析（加速度センサ、シリコン共振子、発振回路） |
| １２月 ３日（月） | ９ | 理論・演習：ジャイロスコープ |
| １２月１０日（月） | １０ | 理論：振動発電 |
| １２月１７日（月） | １１ | 演習：静電解析（振動発電） |
| １２月２６日（水） | １２ | 休講 |
| １月 ７日（月） | １３ | レポート課題の説明、その他 |
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