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2018-11-24 (土) 20:56:41 (59d)

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textbook.pngシリコンの特性いろいろ.pngsample.png
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ラボ用静電マイクロアクチュエータ設計教科書を公開中。まだ誤植がありますので、自己責任でお使いください。
A PDF copy of "SOI MEMS Actuator" is available (in Japanese).
10MB, 2005-08-23
シリコンの持ち味を網羅したチャートを作成しました。どの特性がどのようなデバイスに使われているでしょうか。
An at-a-glance chart for Silicon Properties is available now for your study.
789kB, 2011-04-01
電気回路シミュレータを用いたMEMS解析ツールのライブラリを公開中です。
MEMS simulation package on electrical circuit simulator Qucs is distributed.
2015-04-03