マイクロメカトロニクス

2018-12-17 (月) 10:25:06 (247d)

マイクロメカトロニクス

時間割コード

  • 東京大学大学院工学系研究科 3747−021

教室

  • 本郷・工学系新2号館244教室

授業日

  • 毎週月曜日2限

授業の方法

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  • 平行平板型静電アクチュエータの等価回路を基本にして、そこからMEMSアクチュエータ、静電容量型センサ(加速度センサ)、可変静電容量(RF−MEMSキャパシタ)、可変リアクタ、共振回路、ジャイロスコープ、静電誘導型振動発電(エナジーハーベスタ)の等価回路モデルを導出し、これらのMEMS機構の動作を電気回路の観点から理解します。
  • PCプロジェクタ+配布資料、または、板書
  • 第5回〜第8回にはノートPCを持参。電子回路シミュレータ(LTspice 最新版)をインストールしておくこと。
  • Macユーザーで、最近のLTspice (Build 25 Oct 2018) をインストールした結果、グラフィック・スクリーンのリフレッシュに問題が生じて画面が見えづらくなっている人は、下記のリンクからZipファイルをダウンロードして(授業パスワード必要)、デスクトップ上で回答した後に、マックのApplicationフォルダにコピーして下さい。ただし、いつでも復旧できるようにApplicationフォルダにあったLTspiceをrenameしておくこと。

成績評価

  • 授業レポート

教科書・参考書

とくに指定なし。

配付資料

LTspiceModel2018-10-28.jpg

講義予定

日付チャプター
10月 1日(月)MEMS序論(歴史、特徴、製品、S&A、生体分子モータ)
10月15日(月)演習:プロセス概略(フォトリソ、2D、3D、表面μM、モータ)
10月22日(月)理論:材料力学(応力、歪、梁の曲げ、合成バネ)
10月29日(月)理論:静電駆動力(ガウス、仮想変位、プルイン)
11月 5日(月)演習:回路シミュレータ演習(LTspice基本操作、運動方程式)
11月 8日(木)理論:共振現象(ゲイン、位相、共振周波数、Q値)
11月12日(月)演習:静電解析(アクチュエータ・デモ、静電容量、加速度センサ)
11月19日(月)演習:静電解析(加速度センサ、シリコン共振子、発振回路)
12月 3日(月)理論・演習:ジャイロスコープ
12月10日(月)10理論:振動発電
12月17日(月)11演習:静電解析(振動発電)
12月26日(水)12休講
 1月 7日(月)13レポート課題の説明、その他