What is MEMS?/Semiconductor Processes
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#include(What is MEMS?)
*プロセス技術体系 [#o0dffa2b]
#ref(What is MEMS?/Micromachining/processingtechniques3.p...
半導体マイクロマシニングによるＭＥＭＳプロセスの基本は、...
製膜には化学気相堆積法 (Chemical Vapor Deposition, CVD) ...
マイクロ構造を形成するためには、フォトマスクのパターンを...
膜を削るエッチングの方法としては、化学的に液体の薬品によ...
最近では、これらの製膜、パタニング、エッチングの工程を印...
*シリコンの特性いろいろ [#c1631a58]
#ref(silicon_properties.png,wrap,around,25%)
半導体集積回路にシリコンが使われてきた歴史的経緯もあり、...
#clear
#ref(silicon_properties.pdf)
終了行:
#include(What is MEMS?)
*プロセス技術体系 [#o0dffa2b]
#ref(What is MEMS?/Micromachining/processingtechniques3.p...
半導体マイクロマシニングによるＭＥＭＳプロセスの基本は、...
製膜には化学気相堆積法 (Chemical Vapor Deposition, CVD) ...
マイクロ構造を形成するためには、フォトマスクのパターンを...
膜を削るエッチングの方法としては、化学的に液体の薬品によ...
最近では、これらの製膜、パタニング、エッチングの工程を印...
*シリコンの特性いろいろ [#c1631a58]
#ref(silicon_properties.png,wrap,around,25%)
半導体集積回路にシリコンが使われてきた歴史的経緯もあり、...
#clear
#ref(silicon_properties.pdf)
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