What is MEMS?/Introduction
をテンプレートにして作成
[
トップ
] [
新規
|
一覧
|
検索
|
最終更新
|
ヘルプ
|
ログイン
]
開始行:
#include(What is MEMS?)
*ようこそ [#m66efad0]
#ref(iisbldg.png,left,wrap,around,50%)
年吉研究室へようこそ。当ラボは、東京大学生産技術研究所（...
#clear
*ＭＥＭＳとは？ [#ra2eacc8]
#ref(ant.png,left,wrap,around,50%)
ＭＥＭＳは、「めむす」と読みます。英語の Micro Electro Me...
写真のアリ((写真のアリは大学の庭で拾ってきた、すでにカラ...
#clear
*ＭＥＭＳはどこにある？ [#v15135b3]
#ref(adi.png,left,wrap,around,50%)
ＭＥＭＳはすでに、私達の生活の中に入り込んでいます。たと...
#ref(tidmd.png,left,around,wrap,50%)
左の写真は、米国テキサスインスツルメンツ社の画像ディスプ...
#clear
*ＭＥＭＳはいつから？ [#g5c7c2a0]
#ref(1975.png,left,around,wrap,50%)
ＭＥＭＳデバイスはこのように、非常にハイテクです。ところ...
#clear
#ref(rgt.png,left,around,wrap,50%)
また、左の図面は、半導体ＭＯＳトランジスタのゲートを機械...
#clear
*ＭＥＭＳとナノテクの父 [#y54b5632]
#ref(feynman.png,left,around,wrap,50%)
さらに歴史を遡ってみましょう。ＭＥＭＳ、ナノテクの可能性...
#clear
*１０００ドルは誰の手に？ [#a6b27ee1]
#ref(minimotor.png,left,around,wrap,50%)
ファインマン先生の講義の翌年の１９６０年に、Ｗ．マクレラ...
#clear
*静電マイクロモータ [#z90334d4]
#ref(MEMSmotor.png,left,around,wrap,50%)
駆動機構まで小型化した本当の意味でのマイクロモータは、１...
#clear
#ref(nickelmotor.png,left,around,wrap,50%)
タイ氏のマイクロモータは、金属薄膜やシリコン薄膜を用いた...
#clear
*中学校の理科の教科書にＭＥＭＳが（追記 2015.04.15） [#l7...
#ref(JHtext2.jpg,left,around,wrap,12%)
上記の静電マイクロモータは、いまでは中学校の理科の教科書...
#clear
#ref(JHtext1.jpg,left,around,wrap,23%)
ちかいうちに、この教科書を使った学生が大学に入学するよう...
#clear
*マイクロモータの原理 [#yd1640a5]
#ref(model.png,left,around,wrap,50%)
このマイクロモータはどのようにして動くのでしょうか？ そ...
#clear
#ref(wobble.png,left,around,wrap,50%)
静電モータの場合には、外側にあるステータ電極に順番に電圧...
#clear
*ＭＥＭＳの作り方 [#q2e74cf4]
#ref(watch.png,left,around,wrap,50%)
つぎに、ＭＥＭＳの作り方の特徴を見てみましょう。小さな機...
#clear
#ref(MEMSprocess.png,left,around,wrap,50%)
一方、ＭＥＭＳの特徴は、最終的な組み立て工程が無い、とい...
#clear
*２次元構造から３次元構造へ [#a64dac61]
#ref(ming3d.png,left,around,wrap,50%)
ＭＥＭＳプロセスは半導体プロセスを使います。平たい膜を削...
#clear
*さまざまな動き [#kf7f7b40]
#ref(motion.png,left,around,wrap,50%)
ＭＥＭＳの駆動機構の最初の例として回転するモータを取りあ...
#clear
*ＭＥＭＳの本質 [#g7c3de67]
#ref(3M.png,left,around,wrap,50%)
このように、「動き」がＭＥＭＳの特徴ですが、それだけでは...
#clear
*ＭＥＭＳの産業分野 [#z03988b8]
#ref(market.png,left,around,wrap,25%)
左の図面は、財団法人マイクロマシンセンター((http://www.mm...
#clear
#ref(market2.png,left,around,wrap,25%)
#clear
#ref(nikkeiBP2011.png,left,around,wrap,22%)
また、日経ＢＰの記事(([[MEMS市場が新たな成長期に入った>ht...
#clear
*ＭＥＭＳ応用分野 [#a167a989]
#ref(MEMSdomains.png,around,wrap,left,10%)
このように見てみると、ＭＥＭＳの応用分野は大別して、電気...
センサの信号そのものはμＶからｍＶ程度と小さいために、これ...
#clear
*ＭＥＭＳの学術分野 [#m03c4eda]
#ref(xmems.png,left,around,wrap,25%)
ＭＥＭＳは製造技術・手段です。その適用分野は広く、センサ...
#clear
*ＭＥＭＳの発展史 [#lc64aa98]
#ref(evolutionmap.png,left,around,wrap,14%)
ＭＥＭＳ分野が歩んだ歴史に関しては、大学院生向けの読み物...
#clear
*ＭＥＭＳのアカデミック・ロードマップ [#jc6b1e79]
#ref(visionmap.png,left,around,wrap,14%)
一方、２０４０年までの将来に目を転じて、これからＭＥＭＳ...
#clear
*ＭＥＭＳの技術マップ [#rd49ad0e]
#ref(technologymap.png,left,around,wrap,14%)
また、ＭＥＭＳ分野の製造技術を定量的に予想すると、システ...
#clear
*本研究室のＭＥＭＳ [#ub25af67]
#ref(toshilabmems.png,left,around,wrap,25%)
本研究室では、ＭＥＭＳの製作法、設計法を基盤技術として、...
#clear
*ＭＥＭＳ関連ジャーナル（学術論文誌） [#k3748e05]
ＭＥＭＳ分野の論文がよく投稿されるジャーナルを、下記内部...
-[[MEMS-related Journals]]
-[[MEMS-related Meetings]]
終了行:
#include(What is MEMS?)
*ようこそ [#m66efad0]
#ref(iisbldg.png,left,wrap,around,50%)
年吉研究室へようこそ。当ラボは、東京大学生産技術研究所（...
#clear
*ＭＥＭＳとは？ [#ra2eacc8]
#ref(ant.png,left,wrap,around,50%)
ＭＥＭＳは、「めむす」と読みます。英語の Micro Electro Me...
写真のアリ((写真のアリは大学の庭で拾ってきた、すでにカラ...
#clear
*ＭＥＭＳはどこにある？ [#v15135b3]
#ref(adi.png,left,wrap,around,50%)
ＭＥＭＳはすでに、私達の生活の中に入り込んでいます。たと...
#ref(tidmd.png,left,around,wrap,50%)
左の写真は、米国テキサスインスツルメンツ社の画像ディスプ...
#clear
*ＭＥＭＳはいつから？ [#g5c7c2a0]
#ref(1975.png,left,around,wrap,50%)
ＭＥＭＳデバイスはこのように、非常にハイテクです。ところ...
#clear
#ref(rgt.png,left,around,wrap,50%)
また、左の図面は、半導体ＭＯＳトランジスタのゲートを機械...
#clear
*ＭＥＭＳとナノテクの父 [#y54b5632]
#ref(feynman.png,left,around,wrap,50%)
さらに歴史を遡ってみましょう。ＭＥＭＳ、ナノテクの可能性...
#clear
*１０００ドルは誰の手に？ [#a6b27ee1]
#ref(minimotor.png,left,around,wrap,50%)
ファインマン先生の講義の翌年の１９６０年に、Ｗ．マクレラ...
#clear
*静電マイクロモータ [#z90334d4]
#ref(MEMSmotor.png,left,around,wrap,50%)
駆動機構まで小型化した本当の意味でのマイクロモータは、１...
#clear
#ref(nickelmotor.png,left,around,wrap,50%)
タイ氏のマイクロモータは、金属薄膜やシリコン薄膜を用いた...
#clear
*中学校の理科の教科書にＭＥＭＳが（追記 2015.04.15） [#l7...
#ref(JHtext2.jpg,left,around,wrap,12%)
上記の静電マイクロモータは、いまでは中学校の理科の教科書...
#clear
#ref(JHtext1.jpg,left,around,wrap,23%)
ちかいうちに、この教科書を使った学生が大学に入学するよう...
#clear
*マイクロモータの原理 [#yd1640a5]
#ref(model.png,left,around,wrap,50%)
このマイクロモータはどのようにして動くのでしょうか？ そ...
#clear
#ref(wobble.png,left,around,wrap,50%)
静電モータの場合には、外側にあるステータ電極に順番に電圧...
#clear
*ＭＥＭＳの作り方 [#q2e74cf4]
#ref(watch.png,left,around,wrap,50%)
つぎに、ＭＥＭＳの作り方の特徴を見てみましょう。小さな機...
#clear
#ref(MEMSprocess.png,left,around,wrap,50%)
一方、ＭＥＭＳの特徴は、最終的な組み立て工程が無い、とい...
#clear
*２次元構造から３次元構造へ [#a64dac61]
#ref(ming3d.png,left,around,wrap,50%)
ＭＥＭＳプロセスは半導体プロセスを使います。平たい膜を削...
#clear
*さまざまな動き [#kf7f7b40]
#ref(motion.png,left,around,wrap,50%)
ＭＥＭＳの駆動機構の最初の例として回転するモータを取りあ...
#clear
*ＭＥＭＳの本質 [#g7c3de67]
#ref(3M.png,left,around,wrap,50%)
このように、「動き」がＭＥＭＳの特徴ですが、それだけでは...
#clear
*ＭＥＭＳの産業分野 [#z03988b8]
#ref(market.png,left,around,wrap,25%)
左の図面は、財団法人マイクロマシンセンター((http://www.mm...
#clear
#ref(market2.png,left,around,wrap,25%)
#clear
#ref(nikkeiBP2011.png,left,around,wrap,22%)
また、日経ＢＰの記事(([[MEMS市場が新たな成長期に入った>ht...
#clear
*ＭＥＭＳ応用分野 [#a167a989]
#ref(MEMSdomains.png,around,wrap,left,10%)
このように見てみると、ＭＥＭＳの応用分野は大別して、電気...
センサの信号そのものはμＶからｍＶ程度と小さいために、これ...
#clear
*ＭＥＭＳの学術分野 [#m03c4eda]
#ref(xmems.png,left,around,wrap,25%)
ＭＥＭＳは製造技術・手段です。その適用分野は広く、センサ...
#clear
*ＭＥＭＳの発展史 [#lc64aa98]
#ref(evolutionmap.png,left,around,wrap,14%)
ＭＥＭＳ分野が歩んだ歴史に関しては、大学院生向けの読み物...
#clear
*ＭＥＭＳのアカデミック・ロードマップ [#jc6b1e79]
#ref(visionmap.png,left,around,wrap,14%)
一方、２０４０年までの将来に目を転じて、これからＭＥＭＳ...
#clear
*ＭＥＭＳの技術マップ [#rd49ad0e]
#ref(technologymap.png,left,around,wrap,14%)
また、ＭＥＭＳ分野の製造技術を定量的に予想すると、システ...
#clear
*本研究室のＭＥＭＳ [#ub25af67]
#ref(toshilabmems.png,left,around,wrap,25%)
本研究室では、ＭＥＭＳの製作法、設計法を基盤技術として、...
#clear
*ＭＥＭＳ関連ジャーナル（学術論文誌） [#k3748e05]
ＭＥＭＳ分野の論文がよく投稿されるジャーナルを、下記内部...
-[[MEMS-related Journals]]
-[[MEMS-related Meetings]]
ページ名:
![[PukiWiki]](image/XYstage.jpg "[PukiWiki]")
