Research/RF Bandpass Filters by Micro Vacuum Electronics
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*MEMS型共振器(振動子)の振動を検出する方法 [#x81ba5f1]
//#ref(lame.png,left,around,wrap,50%)
#ref(FEdevice.png,left,around,wrap,20%)
MEMS技術を用いて製作したシリコン製の共振器には、一般...
#clear
*電界放出電流を用いた微小振動の検出 [#cedf8a0c]
#ref(MEMSFEmodel.png,left,around,wrap,38%)
原理検証の実験のために、SOI基板の表面をDRIE加工し...
#clear
*電界放出電流の検証 [#w95c0f83]
#ref(FNplot.png,left,around,wrap,39%)
超高真空中でティップ間の電流ー電圧特性を計測し、それをFow...
#clear
*リンク [#p5c812a5]
-[[Old version of this page (English version included)>[[...
[[IIS Open House 2007]]のページに戻る
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*MEMS型共振器(振動子)の振動を検出する方法 [#x81ba5f1]
//#ref(lame.png,left,around,wrap,50%)
#ref(FEdevice.png,left,around,wrap,20%)
MEMS技術を用いて製作したシリコン製の共振器には、一般...
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*電界放出電流を用いた微小振動の検出 [#cedf8a0c]
#ref(MEMSFEmodel.png,left,around,wrap,38%)
原理検証の実験のために、SOI基板の表面をDRIE加工し...
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*電界放出電流の検証 [#w95c0f83]
#ref(FNplot.png,left,around,wrap,39%)
超高真空中でティップ間の電流ー電圧特性を計測し、それをFow...
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*リンク [#p5c812a5]
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