Research/NEXT Poster Report
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This page contains the poster presented at the [[FIRST Sy...
このページには、2014年3月1日開催、最先端研究開発支...
[[English Plain Text Version>[[Research/NEXT Poster Repor...
&color(black){集積化MEMS技術による機能融合・低消費電...
&color(black){Integrated MEMS Technology for Multi-functi...
|CENTER:BGCOLOR(white):|CENTER:BGCOLOR(white):|c
|>|内閣府/日本学術振興会 最先端・次世代研究開発支援プロ...
|>|''GR024''|
//|~|&size(24){''集積化MEMS技術による機能融合・低消費...
|&ref(NEXTbanner.png,nolink,75%);||
|>|&size(18){研究代表者: 東京大学 先端科学技術研究セン...
|LEFT:BGCOLOR(white):|CENTER:BGCOLOR(white):|c
*本研究の学術的特色&br;Contribution of This Work [#r11256...
**1.集積化MEMS分野の背景(本研究の目的は技術の標準...
#ref(fig1.png,,left,around,20%)
集積化MEMSとは、半導体加工技術により微小な機械構造・...
Integrated MEMS is a technology to assemble microscopic "...
Integrated MEMS is expected to be an enabling power for t...
#clear
''参考文献'': 年吉 洋、「集積化MEMSのための解析・設...
**2.集積化MEMSの統合設計法(回路シミュレータ上で等...
#ref(fig2.png,,left,around,20%)
#ref(fig2b.png,,left,around,20%)
MEMS機械構造を有限要素法で解析しても、ノード点数が多...
そこで本研究では、電気回路シミュレータ上でMEMS機械構...
また、世界標準回路設計CADのCadenceにも移植しました。
FEM is a powerful tool for MEMS but is also difficult to ...
#clear
''Reference'': T. Konishi, K. Machida, S. Maruyama, M. Mi...
**3.集積化MEMSの製作法(ポストCMOSーMEMSプ...
#ref(fig3.png,,left,around,20%)
幅広く使える集積化MEMSプロセスとして、CMOS集積回...
その応用例として、集積回路中の不要な電源を遮断する静電駆...
また、MEMS素子を用いてNOT、NAND、NOR、XOR、XNOR等の論...
As a multi-purpose process for integrated MEMS, we have d...
The process capability has been verified by demonstrating...
Another demonstration has been made to prove an idea to u...
#clear
''Reference'': M. Mita, M. Ataka, and H. Toshiyoshi, “Mic...
**4.集積化MEMS共同試作体制(ウエハ相乗りシャトルサ...
#ref(fig4.png,,left,around,20%)
LSIウエハを丸ごと作ろうとすると膨大な費用が発生します...
そこで本研究では国内のLSI製造企業が提供するウエハ共有...
また、本研究経費によりMEMSポストプロセスの装置を導入...
It would cost a lot if one place an order of VLSI wafer f...
#clear
''Reference'': NTT~AT (0.18, 0.35 and 0.6 um), VDEC Rohm ...
#clear
*本研究の出口イメージ(応用)&br;Applications [#xa547f7f]
**A.コグニティブ無線通信(RF−MEMS周波数可変発振回...
#ref(figA.png,,left,around,20%)
コグニティブ無線通信とは、通信帯域の使用状況等をつねにモ...
本研究ではRF−MEMS(Radio Frequency - MEMS)技術によ...
本研究は、日本無線株式会社との共同研究として実施しました。
駆動電圧35V、容量値0.55〜0.73pF、1〜4ビット構成、VCO...
Cognitive wireless communication is a way to optimize the...
This work was performed in collaboration with Japan Radio...
#clear
''Data'': operation voltage 35V, capacitor range 0.55-0.7...
#clear
''Reference'': K. Urayama, K. Akahori, N. Adachi, H. Fuji...
**B.モノ・ひとモニタリング(高感度MEMS加速度センサ...
#ref(figB.png,,left,around,20%)
加速度センサの応用先は、スマートフォンを超えてさらに広が...
そこで本研究では、人間の動きに合わせて1G未満から数Gの広...
本研究は、NTT−AT株式会社、東京工業大学・益研究室との...
0.35umCMOS、Vdd=3.3V、検出範囲0.5G〜6G、金メッキ構造によ...
Application field of MEMS accelerometers would go beyond ...
This work was performed in collaboration with NTT Advance...
#clear
''Data'': 0.35um CMOS, Vdd = 3.3V, acceleration range 0.5...
#clear
''Reference'': T. Konishi, D. Yamane, T. Matsuhsima, K. M...
**C.どこでも画像ディスプレィ(レーザー走査MEMS光ス...
#ref(figC.png,,left,around,20%)
RGBのレーザー光をMEMS光スキャナで走査すると、どこ...
この特徴を生かして、スクリーン位置やユーザーの身振り手振...
本研究は、スタンレー電気株式会社との共同研究として実施し...
スキャナ駆動電圧40V、画像VGAクラス、測長距離20cm〜60cm、...
A focus-less image projector can be constructed by using ...
This work was performed in collaboration with Stanley Ele...
#clear
''Data'': scanner drive voltage 40V, image VGA class, ran...
#clear
''Reference'': Sungho Jeon, Hiroyuki Fujita, and Hiroshi ...
**D.医療用の光断層観察(MEMS波長可変光源)&br;D. OC...
#ref(figD.png,,left,around,20%)
赤外光の波長可変光源は光ファイバ通信用途だけでなく、医療...
本研究では高速で動作するMEMS光スキャナを開発して、動...
本研究は、santec株式会社との共同研究として実施しま...
スキャナ駆動電圧70V、スキャナ共振周波数70kHz、波長可変速...
MEMS tunable light source is not limited to the optical f...
This work was performed in collaboration with Santec Corp...
#clear
''Data'': scanner operation voltage 70V, scanner resonanc...
#clear
''Reference'': K. Isamoto, K. Totsuka, T. Sakai, T. Suzuk...
*本研究の2030年頃の応用展開&br;Perspective of This Wo...
**トリリオン(1兆個/年)センサ時代の未利用エネルギー回...
#ref(fig2030a.png,,left,around,27%)
近い将来に、地球上で年間1兆個ものセンサを消費する「トリ...
そのような時代に必要な技術として、本研究で実施したような...
It is said that we will soon see a new era to produce a t...
#clear
#ref(fig2030b.png,,left,around,20%)
半導体集積回路の微細化にともなって、LSIの消費電力は年...
現在研究代表者らが取り組み中の永久電荷(エレクトレット)...
Power consumption of VLSI is becoming smaller every year ...
#clear
*謝辞&br;Acknowledgement [#uf2014f2]
本研究は、総合科学技術会議により制度設計された最先端・次...
This research is granted by the Japan Society for the Pro...
*成果資料集より&br;From NEXT Summary Report [#i906861f]
#ref(GR024.png,,40%)
&color(White){集積化MEMS技術による機能融合・低消費電...
&color(White){Integrated MEMS Technology for Multi-functi...
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このページには、2014年3月1日開催、最先端研究開発支...
[[English Plain Text Version>[[Research/NEXT Poster Repor...
&color(black){集積化MEMS技術による機能融合・低消費電...
&color(black){Integrated MEMS Technology for Multi-functi...
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|>|内閣府/日本学術振興会 最先端・次世代研究開発支援プロ...
|>|''GR024''|
//|~|&size(24){''集積化MEMS技術による機能融合・低消費...
|&ref(NEXTbanner.png,nolink,75%);||
|>|&size(18){研究代表者: 東京大学 先端科学技術研究セン...
|LEFT:BGCOLOR(white):|CENTER:BGCOLOR(white):|c
*本研究の学術的特色&br;Contribution of This Work [#r11256...
**1.集積化MEMS分野の背景(本研究の目的は技術の標準...
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集積化MEMSとは、半導体加工技術により微小な機械構造・...
Integrated MEMS is a technology to assemble microscopic "...
Integrated MEMS is expected to be an enabling power for t...
#clear
''参考文献'': 年吉 洋、「集積化MEMSのための解析・設...
**2.集積化MEMSの統合設計法(回路シミュレータ上で等...
#ref(fig2.png,,left,around,20%)
#ref(fig2b.png,,left,around,20%)
MEMS機械構造を有限要素法で解析しても、ノード点数が多...
そこで本研究では、電気回路シミュレータ上でMEMS機械構...
また、世界標準回路設計CADのCadenceにも移植しました。
FEM is a powerful tool for MEMS but is also difficult to ...
#clear
''Reference'': T. Konishi, K. Machida, S. Maruyama, M. Mi...
**3.集積化MEMSの製作法(ポストCMOSーMEMSプ...
#ref(fig3.png,,left,around,20%)
幅広く使える集積化MEMSプロセスとして、CMOS集積回...
その応用例として、集積回路中の不要な電源を遮断する静電駆...
また、MEMS素子を用いてNOT、NAND、NOR、XOR、XNOR等の論...
As a multi-purpose process for integrated MEMS, we have d...
The process capability has been verified by demonstrating...
Another demonstration has been made to prove an idea to u...
#clear
''Reference'': M. Mita, M. Ataka, and H. Toshiyoshi, “Mic...
**4.集積化MEMS共同試作体制(ウエハ相乗りシャトルサ...
#ref(fig4.png,,left,around,20%)
LSIウエハを丸ごと作ろうとすると膨大な費用が発生します...
そこで本研究では国内のLSI製造企業が提供するウエハ共有...
また、本研究経費によりMEMSポストプロセスの装置を導入...
It would cost a lot if one place an order of VLSI wafer f...
#clear
''Reference'': NTT~AT (0.18, 0.35 and 0.6 um), VDEC Rohm ...
#clear
*本研究の出口イメージ(応用)&br;Applications [#xa547f7f]
**A.コグニティブ無線通信(RF−MEMS周波数可変発振回...
#ref(figA.png,,left,around,20%)
コグニティブ無線通信とは、通信帯域の使用状況等をつねにモ...
本研究ではRF−MEMS(Radio Frequency - MEMS)技術によ...
本研究は、日本無線株式会社との共同研究として実施しました。
駆動電圧35V、容量値0.55〜0.73pF、1〜4ビット構成、VCO...
Cognitive wireless communication is a way to optimize the...
This work was performed in collaboration with Japan Radio...
#clear
''Data'': operation voltage 35V, capacitor range 0.55-0.7...
#clear
''Reference'': K. Urayama, K. Akahori, N. Adachi, H. Fuji...
**B.モノ・ひとモニタリング(高感度MEMS加速度センサ...
#ref(figB.png,,left,around,20%)
加速度センサの応用先は、スマートフォンを超えてさらに広が...
そこで本研究では、人間の動きに合わせて1G未満から数Gの広...
本研究は、NTT−AT株式会社、東京工業大学・益研究室との...
0.35umCMOS、Vdd=3.3V、検出範囲0.5G〜6G、金メッキ構造によ...
Application field of MEMS accelerometers would go beyond ...
This work was performed in collaboration with NTT Advance...
#clear
''Data'': 0.35um CMOS, Vdd = 3.3V, acceleration range 0.5...
#clear
''Reference'': T. Konishi, D. Yamane, T. Matsuhsima, K. M...
**C.どこでも画像ディスプレィ(レーザー走査MEMS光ス...
#ref(figC.png,,left,around,20%)
RGBのレーザー光をMEMS光スキャナで走査すると、どこ...
この特徴を生かして、スクリーン位置やユーザーの身振り手振...
本研究は、スタンレー電気株式会社との共同研究として実施し...
スキャナ駆動電圧40V、画像VGAクラス、測長距離20cm〜60cm、...
A focus-less image projector can be constructed by using ...
This work was performed in collaboration with Stanley Ele...
#clear
''Data'': scanner drive voltage 40V, image VGA class, ran...
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''Reference'': Sungho Jeon, Hiroyuki Fujita, and Hiroshi ...
**D.医療用の光断層観察(MEMS波長可変光源)&br;D. OC...
#ref(figD.png,,left,around,20%)
赤外光の波長可変光源は光ファイバ通信用途だけでなく、医療...
本研究では高速で動作するMEMS光スキャナを開発して、動...
本研究は、santec株式会社との共同研究として実施しま...
スキャナ駆動電圧70V、スキャナ共振周波数70kHz、波長可変速...
MEMS tunable light source is not limited to the optical f...
This work was performed in collaboration with Santec Corp...
#clear
''Data'': scanner operation voltage 70V, scanner resonanc...
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''Reference'': K. Isamoto, K. Totsuka, T. Sakai, T. Suzuk...
*本研究の2030年頃の応用展開&br;Perspective of This Wo...
**トリリオン(1兆個/年)センサ時代の未利用エネルギー回...
#ref(fig2030a.png,,left,around,27%)
近い将来に、地球上で年間1兆個ものセンサを消費する「トリ...
そのような時代に必要な技術として、本研究で実施したような...
It is said that we will soon see a new era to produce a t...
#clear
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半導体集積回路の微細化にともなって、LSIの消費電力は年...
現在研究代表者らが取り組み中の永久電荷(エレクトレット)...
Power consumption of VLSI is becoming smaller every year ...
#clear
*謝辞&br;Acknowledgement [#uf2014f2]
本研究は、総合科学技術会議により制度設計された最先端・次...
This research is granted by the Japan Society for the Pro...
*成果資料集より&br;From NEXT Summary Report [#i906861f]
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&color(White){集積化MEMS技術による機能融合・低消費電...
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