Research/Monolithic Integration of Microwave Passive Devices with RF-MEMS
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*機能レイヤ分離設計によるSOI RF−MEMS受動素子に関...
単結晶貼り合わせシリコン基板(SOI基板)をバルクマイク...
A novel design of switched-line RF-MEMS (radio frequency ...
このスイッチを遅延線とともにシリコン基板内にモノリシック...
We have successfully demonstrated the design principle on...
**はじめに&br;Introduction [#df543389]
#ref(Fig1.png,wrap,around,25%)
アクティブ位相アレイアンテナは電子的に高速で指向性を変え...
APAA (Active Phase Array Antenna) is an agile antenna tha...
#ref(Fig2.png,wrap,around,25%)
本研究で試作した移相器は、長短2本の遅延線のうち、一方を...
A switch is used to choose one of the longer or shorter d...
#clear
**レイヤ分離型RF−MEMSスイッチの構造&br;RF-MEMS Stru...
#ref(Fig3.png,wrap,around,25%)
本研究では、SOI基板の裏面(ハンドル基板側)にコプレナ...
We adopted our own MEMS design technique called "Layer Se...
#clear
**バルクマイクロマシニング&br;Bulk Micromachining [#pa01c...
#ref(Fig4.png,wrap,around,25%)
#ref(Fig5.png,wrap,around,24%)
#clear
#ref(Fig6.png,wrap,around,50%)
SOI基板の両面をマイクロ加工する手法として、基板側に形...
In this work, we used a thick plated gold (4 microns) on ...
#clear
以上の設計思想・製作方法に基づいて1ビットの位相器を試作...
As a proof-of-concept level demonstration, we have develo...
#clear
**紹介ポスター&br;Openhouse Poster [#zc193216]
//#ref(RFMEMS.png,wrap,around,20%)
#ref(RF-MEMS2012.pdf)
We have developed a monolithically integrated RF-MEMS pha...
At the same time, high resistance silicon was used for th...
終了行:
*機能レイヤ分離設計によるSOI RF−MEMS受動素子に関...
単結晶貼り合わせシリコン基板(SOI基板)をバルクマイク...
A novel design of switched-line RF-MEMS (radio frequency ...
このスイッチを遅延線とともにシリコン基板内にモノリシック...
We have successfully demonstrated the design principle on...
**はじめに&br;Introduction [#df543389]
#ref(Fig1.png,wrap,around,25%)
アクティブ位相アレイアンテナは電子的に高速で指向性を変え...
APAA (Active Phase Array Antenna) is an agile antenna tha...
#ref(Fig2.png,wrap,around,25%)
本研究で試作した移相器は、長短2本の遅延線のうち、一方を...
A switch is used to choose one of the longer or shorter d...
#clear
**レイヤ分離型RF−MEMSスイッチの構造&br;RF-MEMS Stru...
#ref(Fig3.png,wrap,around,25%)
本研究では、SOI基板の裏面(ハンドル基板側)にコプレナ...
We adopted our own MEMS design technique called "Layer Se...
#clear
**バルクマイクロマシニング&br;Bulk Micromachining [#pa01c...
#ref(Fig4.png,wrap,around,25%)
#ref(Fig5.png,wrap,around,24%)
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#ref(Fig6.png,wrap,around,50%)
SOI基板の両面をマイクロ加工する手法として、基板側に形...
In this work, we used a thick plated gold (4 microns) on ...
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以上の設計思想・製作方法に基づいて1ビットの位相器を試作...
As a proof-of-concept level demonstration, we have develo...
#clear
**紹介ポスター&br;Openhouse Poster [#zc193216]
//#ref(RFMEMS.png,wrap,around,20%)
#ref(RF-MEMS2012.pdf)
We have developed a monolithically integrated RF-MEMS pha...
At the same time, high resistance silicon was used for th...
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