Research/Monolithic Integration of Control Circuitry with MEMS Actuators
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[[IIS Open House 2007]]
*マイクロアクチュエータの自動制御化 [#c4c7379d]
#ref(monolithic.png,left,around,wrap,30%)
[[生研公開2007 光ファイバ内視鏡]]で説明したように、当研究...
#clear
*集積回路のモノリシック実装 [#g9db769c]
#ref(MEMSPLL.png,left,wrap,around,22%)
そこで本研究では、あらかじめ電圧制御発振器や分周器、移相...
#clear
*MEMSスキャナ用PLL自励発振回路 [#k1f3029d]
#ref(phaselock.png,left,around,wrap,25%)|
左の図は、ミラーの角度変位を静電容量の変化として検出して...
[[IIS Open House 2007]]のページに戻る
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[[IIS Open House 2007]]
*マイクロアクチュエータの自動制御化 [#c4c7379d]
#ref(monolithic.png,left,around,wrap,30%)
[[生研公開2007 光ファイバ内視鏡]]で説明したように、当研究...
#clear
*集積回路のモノリシック実装 [#g9db769c]
#ref(MEMSPLL.png,left,wrap,around,22%)
そこで本研究では、あらかじめ電圧制御発振器や分周器、移相...
#clear
*MEMSスキャナ用PLL自励発振回路 [#k1f3029d]
#ref(phaselock.png,left,around,wrap,25%)|
左の図は、ミラーの角度変位を静電容量の変化として検出して...
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