Research/MEMS Buckling Memory
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[[IIS Open House 2007]]
//#ref(logo2007.png,[[IIS Open House 2007]],left,around,w...
*両持ち梁の座屈現象を利用したMEMS型メモリ素子 [#y927f...
#ref(bistablememory.png,left,around,wrap,30%)
両端の変位を拘束された梁(両端支持梁、ブリッジ)の内部に...
#clear
*製作方法 [#ucf1347e]
#ref(bistableprocess.png,left,around,wrap,40%)
本研究では両持ち梁の座屈メモリ効果の原理検証として、シリ...
#clear
*試作デバイス [#k09843c8]
#ref(bistableSEM.png,left,around,wrap,45%)
左の電子顕微鏡写真は、座屈梁の試作品です。梁の長さを8ミ...
#clear
*座屈によるメモリ実験 [#z1902c65]
#ref(bistableoperation.png,left,around,wrap,64%)
梁の座屈を左右(図面では上下方向)にスイッチする手段とし...
#clear
*座屈による変位の計測 [#p8f9e5f5]
#ref(bistablemeasurement.png,left,around,wrap,40%)
幅80〜100ナノメートルの両持ち梁の座屈変位を計測した...
#clear
[[IIS Open House 2007]]のページに戻る
//|~|東京大学生産技術研究所 年吉研究室、フランス国立科学...
//|~|説明の対象 MEMS、メモリ|
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[[IIS Open House 2007]]
//#ref(logo2007.png,[[IIS Open House 2007]],left,around,w...
*両持ち梁の座屈現象を利用したMEMS型メモリ素子 [#y927f...
#ref(bistablememory.png,left,around,wrap,30%)
両端の変位を拘束された梁(両端支持梁、ブリッジ)の内部に...
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*製作方法 [#ucf1347e]
#ref(bistableprocess.png,left,around,wrap,40%)
本研究では両持ち梁の座屈メモリ効果の原理検証として、シリ...
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*試作デバイス [#k09843c8]
#ref(bistableSEM.png,left,around,wrap,45%)
左の電子顕微鏡写真は、座屈梁の試作品です。梁の長さを8ミ...
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*座屈によるメモリ実験 [#z1902c65]
#ref(bistableoperation.png,left,around,wrap,64%)
梁の座屈を左右(図面では上下方向)にスイッチする手段とし...
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*座屈による変位の計測 [#p8f9e5f5]
#ref(bistablemeasurement.png,left,around,wrap,40%)
幅80〜100ナノメートルの両持ち梁の座屈変位を計測した...
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//|~|説明の対象 MEMS、メモリ|
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