Research/Monolithic Integration of Microactuators with High Voltage Driver Circuits
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開始行:
*高電圧ＭＥＭＳドライバ回路基盤技術&br;High Voltage Drive...
#ref(johny1.jpg,left,wrap,around,50%)
応答速度や一定電圧下での最大変位といったマイクロアクチュ...
Performace of microactuators such as fast response and la...
#clear
*CMOS-First & MEMS-Last 型集積化&br;CMOS-First & MEMS-Las...
#ref(johny2.jpg,left,wrap,around,57%)
#ref(johny4.jpg,left,wrap,around,50%)
耐圧40Vの高電圧ドライバ回路のチップを，内部に将来MEMSアク...
The high-voltage IC chip (max 40 Vdc) is made with a blan...
#clear
*静電駆動くしば型アクチュエータとドライバ回路の集積化（試...
#ref(johny3.jpg,left,around,wrap,50%)
試作例として，櫛歯型静電駆動アクチュエータをドライバ回路...
For demonstration, we have monolithically integrated an a...
#clear
*Contact Investigator [#pf7b60d1]
-[[Kazuhiro Takahashi]]
*Reference [#y27b9c01]
+K. Takahashi, H. N. Kwon, M. Mita, H. Fujita, H. Toshiyo...
終了行:
*高電圧ＭＥＭＳドライバ回路基盤技術&br;High Voltage Drive...
#ref(johny1.jpg,left,wrap,around,50%)
応答速度や一定電圧下での最大変位といったマイクロアクチュ...
Performace of microactuators such as fast response and la...
#clear
*CMOS-First & MEMS-Last 型集積化&br;CMOS-First & MEMS-Las...
#ref(johny2.jpg,left,wrap,around,57%)
#ref(johny4.jpg,left,wrap,around,50%)
耐圧40Vの高電圧ドライバ回路のチップを，内部に将来MEMSアク...
The high-voltage IC chip (max 40 Vdc) is made with a blan...
#clear
*静電駆動くしば型アクチュエータとドライバ回路の集積化（試...
#ref(johny3.jpg,left,around,wrap,50%)
試作例として，櫛歯型静電駆動アクチュエータをドライバ回路...
For demonstration, we have monolithically integrated an a...
#clear
*Contact Investigator [#pf7b60d1]
-[[Kazuhiro Takahashi]]
*Reference [#y27b9c01]
+K. Takahashi, H. N. Kwon, M. Mita, H. Fujita, H. Toshiyo...
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