Research/MEMS Power Gate Switch for Low Power Electronics
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開始行:
//[[IIS Open House 2011]]
*低消費電力エレクトロニクスのための集積化MEMS&br;Inte...
本研究では、表面マイクロマシニングによるMEMSスイッチ...
We propose a new MEMS (Micro Electro Mechanical systems) ...
**はじめに&br;Introduction [#t6657820]
#ref(Fig1.png,wrap,around,37%)
#ref(Fig2.png,wrap,around,30%)
半導体エレクトロニクスでは、高速動作と低電圧動作を追求す...
The number of transistors are integrated into a semicondu...
#clear
#ref(Fig3.png,wrap,around,30%)
そこで、このパワーゲートスイッチに相当する部品として、M...
Common technique for reducing the leakage current is powe...
#clear
**スイッチ構造&br;Switch Structure [#mcd8a197]
#ref(Fig4.png,wrap,around,30%)
#ref(Table1.png,wrap,around,30%)
従来のRF−MEMSスイッチでは、高周波におけるインピーダ...
Impedance matching has been the limitation in designing t...
#clear
**製作方法&br;Fabrication Process [#i0544caa]
#ref(Fig5.png,wrap,around,30%)
パワーゲートスイッチをLSI基板上に製作することを想定し...
We have developed a CMOS-compatible low-temperature proce...
#clear
**静電駆動特性予測&br;Pull-in Voltage Analysis [#q730d206]
#ref(Fig6.png,wrap,around,30%)
3次元有限要素法解析結果により、厚さ1ミクロン程度の有機...
Three-dimensional FEM analysis has discovered that a use ...
#clear
**紹介ポスターOpenhouse Poster [#b4c5649f]
//#ref(PowerGate.png,wrap,around,20%)
#ref(PowerGate2012.pdf)
#clear
終了行:
//[[IIS Open House 2011]]
*低消費電力エレクトロニクスのための集積化MEMS&br;Inte...
本研究では、表面マイクロマシニングによるMEMSスイッチ...
We propose a new MEMS (Micro Electro Mechanical systems) ...
**はじめに&br;Introduction [#t6657820]
#ref(Fig1.png,wrap,around,37%)
#ref(Fig2.png,wrap,around,30%)
半導体エレクトロニクスでは、高速動作と低電圧動作を追求す...
The number of transistors are integrated into a semicondu...
#clear
#ref(Fig3.png,wrap,around,30%)
そこで、このパワーゲートスイッチに相当する部品として、M...
Common technique for reducing the leakage current is powe...
#clear
**スイッチ構造&br;Switch Structure [#mcd8a197]
#ref(Fig4.png,wrap,around,30%)
#ref(Table1.png,wrap,around,30%)
従来のRF−MEMSスイッチでは、高周波におけるインピーダ...
Impedance matching has been the limitation in designing t...
#clear
**製作方法&br;Fabrication Process [#i0544caa]
#ref(Fig5.png,wrap,around,30%)
パワーゲートスイッチをLSI基板上に製作することを想定し...
We have developed a CMOS-compatible low-temperature proce...
#clear
**静電駆動特性予測&br;Pull-in Voltage Analysis [#q730d206]
#ref(Fig6.png,wrap,around,30%)
3次元有限要素法解析結果により、厚さ1ミクロン程度の有機...
Three-dimensional FEM analysis has discovered that a use ...
#clear
**紹介ポスターOpenhouse Poster [#b4c5649f]
//#ref(PowerGate.png,wrap,around,20%)
#ref(PowerGate2012.pdf)
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