Hint/Home-made Vacuum Seal
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開始行:
*MEMSデバイスの真空封止 [#c9016e11]
#ref(vacuum1.png,left,around,wrap,50%)
共振型のMEMSセンサ・アクチュエータには空気の粘性が大...
#clear
*真空チャンバ(真空蒸着装置)を用いた真空封止 [#d8930cf5]
#ref(vacuum3.png,left,around,wrap,50%)
使用する機器は、ロータリーポンプ程度の真空度が得られるも...
#clear
#ref(vacuum2.png,left,around,wrap,50%)
まず、セラミックパッケージの中にMEMSデバイスを固定し...
#clear
*チョロQを使ったリモート蓋閉め [#l4795956]
#ref(vacuumseal.gif,left,around,wrap,63%)
真空封止の蓋閉めを「自動化」する方法として、ラジコン・チ...
#clear
*真空中でのMEMSデバイスの特性 [#wda83abf]
#ref(vacuum4.png,left,around,wrap,50%)
真空封止することで、明らかに共振MEMSのQ値が向上しま...
#clear
*チョロQ式真空封止の発明者 [#m04ff1d1]
-[[Muneki Nakada]]
終了行:
*MEMSデバイスの真空封止 [#c9016e11]
#ref(vacuum1.png,left,around,wrap,50%)
共振型のMEMSセンサ・アクチュエータには空気の粘性が大...
#clear
*真空チャンバ(真空蒸着装置)を用いた真空封止 [#d8930cf5]
#ref(vacuum3.png,left,around,wrap,50%)
使用する機器は、ロータリーポンプ程度の真空度が得られるも...
#clear
#ref(vacuum2.png,left,around,wrap,50%)
まず、セラミックパッケージの中にMEMSデバイスを固定し...
#clear
*チョロQを使ったリモート蓋閉め [#l4795956]
#ref(vacuumseal.gif,left,around,wrap,63%)
真空封止の蓋閉めを「自動化」する方法として、ラジコン・チ...
#clear
*真空中でのMEMSデバイスの特性 [#wda83abf]
#ref(vacuum4.png,left,around,wrap,50%)
真空封止することで、明らかに共振MEMSのQ値が向上しま...
#clear
*チョロQ式真空封止の発明者 [#m04ff1d1]
-[[Muneki Nakada]]
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