生研公開2007 天文分光用静電駆動マイクロシャッタアレイ
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[[IIS Open House 2007]]
|BGCOLOR(white):|BGCOLOR(white):|c
|#ref(logo2007.png,[[IIS Open House 2007]],100%)|SIZE(20)...
|~|SIZE(20){静電駆動マイクロシャッタアレイ}|
|~|東京大学生産技術研究所 年吉研究室、東京大学理学部天文...
|~|説明の対象 光MEMS、天文分光|
|遠方銀河の形成過程を探る天文学においては、銀河から届く波...
|従来は、天体の座標に合わせて金属製の遮蔽板に孔をあけ、そ...
|マイクロシャッタは、薄いSOI基板(活性層厚み1.5〜2...
|これまでに、3×10個のシャッタアレイのサブユニットを試...
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|#ref(logo2007.png,[[IIS Open House 2007]],100%)|SIZE(20)...
|~|SIZE(20){静電駆動マイクロシャッタアレイ}|
|~|東京大学生産技術研究所 年吉研究室、東京大学理学部天文...
|~|説明の対象 光MEMS、天文分光|
|遠方銀河の形成過程を探る天文学においては、銀河から届く波...
|従来は、天体の座標に合わせて金属製の遮蔽板に孔をあけ、そ...
|マイクロシャッタは、薄いSOI基板(活性層厚み1.5〜2...
|これまでに、3×10個のシャッタアレイのサブユニットを試...
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