生研公開2007 天文分光用静電駆動マイクロシャッタアレイ
の凍結
http://toshi.iis.u-tokyo.ac.jp/toshilab/?%E7%94%9F%E7%A0%94%E5%85%AC%E9%96%8B2007+%E5%A4%A9%E6%96%87%E5%88%86%E5%85%89%E7%94%A8%E9%9D%99%E9%9B%BB%E9%A7%86%E5%8B%95%E3%83%9E%E3%82%A4%E3%82%AF%E3%83%AD%E3%82%B7%E3%83%A3%E3%83%83%E3%82%BF%E3%82%A2%E3%83%AC%E3%82%A4
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