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*トリリオンセンサ社会を支える高効率ＭＥＭＳ振動発電デバイスの研究&br;A Study on High Efficiency MEMS Micro Energy Harvesters for Trillion Sensor Society [#we1867cc]

**研究開発の背景&br;R&D Background [#r6d571df]

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社会・交通インフラモニタリング用無線センサや、ウェアラブル端末・ヘルスケア端末に代表される未来社会技術を実現するため、年間１兆個の超小型センサを生産・消費するトリリオンセンサ時代の到来が予想されています。本研究では、超小型メンテナンスフリー無線センサ端末に必要不可欠な、ＭＥＭＳ発電素子の実現に取り組みます。

So-called trillion-sensors era is around the corner, where we consume trillions of sensors a year to support various types of near-future sensor applications for social infrastructures, traffic systems, wearable computers, and health-care devices. This project develops MEMS energy harvesters that is the most essential component in maintenance-free wireless sensor nodes.

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**研究開発の内容と目標&br;Project Objectives [#uebd9a27]

本研究では、独創的な高密度固体イオンエレクトレット技術と、大容量イオン液体可変キャパシタ技術を新たに導入したＭＥＭＳ振動発電デバイスを開発します。直径２０ｍｍ程度の一円玉サイズの面積で、発電効率を従来比２桁以上に飛躍的に高めることで、２０２０年には１０ｍＷ級の振動発電を可能にするためのデバイス設計・製作・評価技術を確立します。

We employ the novel high-density solid-ion electret technology and the liquid-ion capacitor technology to develop MEMS energy harvesters. Power-conversion efficiency is 100 times improved from the conventional types by the newly developed design, fabrication, and characterization technology, thereby targeting 10-mW class energy harvester by year 2020.

**研究開発項目&br;R&D Items [#d771d4c1]
+高電荷密度シリコンエレクトレット　　　
+大容量イオン液体可変キャパシタ
+高効率エナジーハーベスタ
+交通インフラに適したハーベスタ
+オフィスや工場に適したハーベスタ

+High density silicon electret
+High capacity liquid-ion variable capacitor
+High efficiency energy harvester
+Energy harvester for traffic infrastructure
+Energy harvester for office and factory 

**研究開発の実施体制&br;Organization [#r34b9d29]

-技術研究組合ＮＭＥＭＳ技術開発機構（高効率ＭＥＭＳ研究所）
-国立大学法人東京大学
-国立大学法人静岡大学
-株式会社鷺宮製作所
-ダイキン工業株式会社
-オムロン株式会社
-一般財団法人マイクロマシンセンター

-NMEMS Technology Research Organization (High Efficiency MEH Research Institute)
-The University of Tokyo
-Shizuoka University,
-Saginomiya Seisakusyo, Inc.
-Daikin Industries, Ltd.
-Omron　Corp.
-Micromachine Center


**説明図面&br;Figures [#t705a256]
#ref(Figure1.png,center,zoom,400x400)
CENTER:
図１　ＭＥＭＳ振動発電素子の供給電力とモバイル・エレクトロニクス消費電力のロードマップ&br;Figure 1 Roadmap for energy harvesting power supply and mobile electronics power demands

~

#ref(Figure2.png,center,zoom,400x400)
CENTER:
図２　超高効率ＭＥＭＳ振動発電素子の構造と電池状エナジーハーベスタ素子への応用&br;Figure 2 Structure of ultra high efficiency MEMS vibrational energy harvester to replace batteries