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#author("2023-09-03T04:56:51+00:00","default:hiroshi","hiroshi") #author("2023-09-03T05:37:05+00:00","default:hiroshi","hiroshi") *ＴＨｚ−ＭＥＭＳが科研費基盤Ｂに採択されました。&br;THz-MEMS project is granted a Kiban-B.&br;2015-04-01 [#h62f8066] #ref(Lab News Back Number/KibanB2015-04-01.png,nolink,around,right,50%) &color(Red){In Japanese Only.}; 本研究は「ＭＥＭＳ可変共振子アレイによるテラヘルツ光空間変調デバイス」と題し、ＭＥＭＳ技術を用いてテラヘルツ光向けの可変透過光学フィルタの設計・製作・評価を実施するものです。テラヘルツ光は、近年では非破壊検査機器としての応用が期待されていますが、その可能性は単に金属異物等の検出には留まりません。特に、100GHzから10THzの周波数帯では、物質の分子構造によって吸収スペクトルが敏感に変化するため、特定波長の透過率から材料組成の推測が可能です。ただし、同技術の普及には、テラヘルツ光学系の小型化・高機能化が必要であることから、本研究ではテラヘルツ光を空間走査する透過型の変調器（スキャナ、可変レンズ、グレーティング等）をＭＥＭＳ技術で実現する研究に取り組みます。 //#side(News) *天文シャッタが科研費基盤Ｃに採択されました。&br;Micro shutter project is granted a Kiban-C.&br;2015-04-01 [#m03d4996] #ref(Lab News Back Number/KibanC2015-04-01.png,nolink,around,right,50%) &color(Red){In Japanese Only.}; 本研究は、「ＭＥＭＳ静電駆動マイクロシャッタのマルチスリット多天体分光器応用」と称し、東京大学が南米チリ共和国アタカマ高地に建設中の遠方銀河観測用天体望遠の分光器を、ＭＥＭＳ技術を用いて可変マルチスリット化することを目的とします。これにより、限られた時間内で効率よく多数の銀河スペクトルを観測する遠隔操作・自動システムの構築に寄与し、分光天文学の発展に貢献します。また、研究の具体的な方策として、研究期間内に、（１）ＭＥＭＳシャッタアレイ数を現在の最大４００素子から８０００素子に拡大、（２）任意位置シャッタの静電駆動開閉動作の実現、クライオ真空チャンバを用いた温度１００Ｋ環境におけるＭＥＭＳシャッタ動作特性の評価、の３点を実施します。
