#side(Top Page/SideBar) #author("2023-08-14T12:18:57+00:00","default:hiroshi","hiroshi") #ref(special-symp_mems.png,right,around,zoom,500x500) [[第65回応用物理学会春期学術講演会>https://confit.atlas.jp/guide/event/jsap2018s/top]]・集積化MEMS技術研究会主催 特別シンポジウム(集積化MEMSの発展と展望〜集積化MEMS技術研究会発足10周年記念シンポジウム)、2018年3月18日、早稲田大学 https://meeting.jsap.or.jp/special-symposium #ref(special-symp_mems.pdf)