![[PukiWiki]](image/XYstage.jpg "[PukiWiki]")
#author("2019-02-17T14:57:40+00:00","default:hiroshi","hiroshi") #author("2023-09-03T04:46:38+00:00","default:hiroshi","hiroshi") [[Research]] #side(Research/SideBar) *生産研キャンパス公開２０１１ [#u4be5c23] -研究概要（このページ） -[[集積化ＭＥＭＳ技術による機能融合・低消費電力エレクトロニクス>[[Research/NEXT Overview]]]] -[[天文分光用マイクロシャッタアレイ>[[Research/Electrostatically Addressable Visored Shutter Array by Electroplating for Astronomical Spectrography]]]] -[[インクジェット・プリントによる大面積ＭＥＭＳ>[[Research/Large Area MEMS by Ink-jet Printing]]]] -[[機能レイヤ分離設計によるＳＯＩ ＲＦ−ＭＥＭＳ受動素子に関する研究 >[[Research/Monolithic Integration of Microwave Passive Devices with RF-MEMS]]]] -[[ＬＴｓｐｉｃｅを用いたＣＭＯＳ−ＭＥＭＳのためのマルチフィジクス解析手法に関する研究>[[Research/Multi-physics Analysis for MEMS based on Electrical Circuit Simulator Spice]]]] -[[高速ＭＥＭＳ光スキャナを用いた波長可変レーザー光源による生体材料の光干渉断層画像撮影 >[[Research/Wavelength Tunable Light Source for the Next Generation OCT System by High-speed MEMS Optical Scanner]]]] -[[ＡＤＲＩＰ製法ＰＺＴ圧電膜の画像ディスプレィ用ＭＥＭＳ光スキャナ・圧電共振子への応用 >[[Research/MEMS Optical Scanner for Laser Projection Image Display]]]] -[[高機能集積化マイクロ化学センサ>[[Research/Intelligent MEMS Chemical Sensors]]]] -[[低消費電力エレクトロニクスのためのＭＥＭＳパワーゲートスイッチ>[[Research/MEMS Power Gate Switch for Low Power Electronics]]]] 一部のページは、説明文が追記途中のままです。 *研究概要 [#t40a0093] #ref(LABj.png,wrap,around,20%) 「ＭＥＭＳのキラー・アプリケーションはなに？」と良く尋ねられます。生研公開にお越しの皆さんの多くも、同様にお考えのことでしょう。しかしこの質問はちょっと変ですね。なぜなら、「ＬＳＩのキラー・アプリケーションはなに」・・・・もうお分かりでしょう。本来ＭＥＭＳとは、次世代エレクトロニクスの設計・製造基盤技術のことなのです。本研究室では、ＭＥＭＳならではの面白い現象、ＭＥＭＳでしかできないこと、それから、それらを支援する設計・製造技術について研究開発しています。 #clear *IIS Open House 2011 [#u4c239e6] -Abstract (This Page) -[[Research/NEXT Overview]] -[[Research/Electrostatically Addressable Visored Shutter Array by Electroplating for Astronomical Spectrography]] -[[Research/Large Area MEMS by Ink-jet Printing]] -[[Research/Monolithic Integration of Microwave Passive Devices with RF-MEMS]] -[[Research/Multi-physics Analysis for MEMS based on Electrical Circuit Simulator Spice]] -[[Research/Wavelength Tunable Light Source for the Next Generation OCT System by High-speed MEMS Optical Scanner]] -[[Research/MEMS Optical Scanner for Laser Projection Image Display]] -[[Research/Intelligent MEMS Chemical Sensors]] -[[Research/MEMS Power Gate Switch for Low Power Electronics]] *Abstract [#p6215c43] #ref(LABe.png,wrap,around,20%) "What is the killer application of MEMS?"~ This is the most frequently asked question about MEMS, and most of you may share it in your mind. Nonetheless, do not you think this question misses the point? What do you answer if you were asked “What is the killer application of LSI?” You see it now. MEMS is the base technology for the next generation electronics, in a general sense, and it is supposed to cover all. In our lab at IIS and RCAST, we perform R&D on the things that only MEMS can make.
