*東京大学工学系研究科 先端学際工学専攻「先端物質デバイス論」(2015年度冬学期)オムニバス形式 [#s2ba7dcc]
-授業全体のテーマ 半導体ナノテクノロジーと情報化社会
-年吉担当のテーマ MEMS技術のエレクトロニクス応用
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//**講義日程 [#o2619c1c]
//-2013年10月2日(水)
//--13:00〜14:40(3時限)MEMSイントロダクション
//--14:45〜16:25(4時限)MEMSプロセス
//-2013年10月9日(水)
//--13:00〜14:40(3時限)静電マイクロアクチュエータ設計法、パラドックス問題
//--14:45〜16:25(4時限)電気回路シミュレータを用いた微分方程式(運動方程式+回路方程式)の解法


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