[[先端物質デバイス論]] #author("2023-09-24T12:33:04+00:00","default:hiroshi","hiroshi") *東京大学工学系研究科 先端学際工学専攻「先端物質デバイス論」(2013年度冬学期)オムニバス形式 [#s2ba7dcc] -授業全体のテーマ 半導体ナノテクノロジーと情報化社会 -年吉担当のテーマ MEMS技術のエレクトロニクス応用 **講義日程 [#o2619c1c] -2013年10月2日(水) --13:00〜14:40(3時限)MEMSイントロダクション --14:45〜16:25(4時限)MEMSプロセス -2013年10月9日(水) --13:00〜14:40(3時限)静電マイクロアクチュエータ設計法、パラドックス問題 --14:45〜16:25(4時限)電気回路シミュレータを用いた微分方程式(運動方程式+回路方程式)の解法