[[ナノテクノロジー(II)]] #author("2023-09-24T12:26:32+00:00","default:hiroshi","hiroshi") *成蹊大学理工学部「ナノテクノロジー(II)」(2009年度冬学期) [#z659f163] -毎週木曜日 5限 16:30〜18:00 -8号館304号室 *講義日程 [#x4cc390d] -10月22日(年吉担当第1回) MEMS/NEMS概論 -10月29日(年吉担当第2回) マイクロマシニング・プロセスの理解 -11月 5日(年吉担当第3回) 静電マイクロアクチュエータの原理 -11月12日(年吉担当第4回) 運動方程式を電気回路として解く *配付資料 [#r127c5e6] *レポート課題 [#k2c2596e] *最終試験の日程 [#wb21c025]