応物・集積化MEMS技術研究会

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応用物理学会にMEMS技術とLSI技術の融合と新しいテーマ創成のための集積化MEMS技術委員会が発足し、同委員会が新たに「集積化MEMS技術研究会」を運営することになりました。詳細は研究会のホームページをご覧ください。当ラボ教員も運営委員ととして参加しています。

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また、同日に開催した「特別企画シンポジウム・応用物理学の将来ビジョン」では、本研究会が中心となって策定したマイクロ・ナノメカトロニクス技術分野に関する発展史マップと将来アカデミーロードマップを報告しました。マップ図面を一部公開致しますので、研究にお役立てください。


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