News/2017-11-04 の履歴(No.1)

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  • 1 (2019-02-16 (土) 21:08:08)

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チェン先生の論文がＪＭＥＭＳに掲載されました。
Dr. Cheng's paper is published in JMEMS.
2017-11-04†

中国科学技術院・上海技術物理研究所から研究室に２年間滞在した程正喜（Zhengxi CHENG）先生の論文がＪＭＥＭＳに掲載されました。設計ルール０．３５μｍの標準的なＣＭＯＳプロセスラインを用いて静電駆動型のディジタルマイクロミラーを製作する手法とその評価結果を報告しています。

Dr. Zhengxi CHENG, an ex-visitor to the lab from Shanghai Institute of Technical Physics, Chinese Academy of Sciences, publishes his work in IEEE/ASME J.MEMS. In this paper, he reports a method to develop electrostatic micro mirror device by using the standard 0.35-µm CMOS process line and the results of electromechanical characterization.

http://ieeexplore.ieee.org/document/8094355/

Article information:
This paper appears in: IEEE/ASME Journal of Microelectromechanical Systems
Volume: <not found> Issue: <not found>
Print ISSN: 1057-7157
Online ISSN: 1941-0158
Digital Object Identifier: 10.1109/JMEMS.2017.2764094