Lab Daily Life の履歴(No.1) - MEMS Lab, IIS, The University of Tokyo

年吉研究室にようこそ。
これから進学を考えている学生さんに、光のどけき春の日の研究室の様子をお知らせするページを開設しました。研究内容はさておき、ラボの雰囲気をお伝えします。

2008-04-04（金曜）

朝１０時ころ・・・ＭＥＭＳデバイスの設計を終えて、プロセスに使うフォトマスクのデータをコンバートしています。データ点数が多いらしく、変換に時間がかかっているようです。このあと、ＶＤＥＣにＥＢ（電子線描画）マスクを作りに行きました。

昼すぎ・・・Ｄ論の成果をまとめた国際会議論文を書いているところ。もちろん英文。締め切りは３日後。

夕方・・・昨年度、博士号をとって卒業した肥後先生（先端研の助教）は、ときどき古巣に帰ってきて実験したり、後輩をやさしく指導してくれたり。（つづく）

2008-04-07（次の週の月曜）

午後２時ころ・・・新開発のアクチュエータ／導波路分離型ＲＦ-ＭＥＭＳのためのＥＢマスクを使うべく真空蒸着装置を用いてシリコンウエハにアルミ薄膜を形成する山根君。

2008-04-09（水曜）

午後３時ころ・・・新開発のアクチュエータ・・・のＳＯＩ側フォトリソ工程のためイエロールームでウエハにレジストを塗布する山根君。画面が黄色いのは、フォトリソ（感光性樹脂の処理）する部屋なので、蛍光灯が黄色。だから、イエロールーム。

午後４時ころ・・・ＲＦ-ＭＥＭＳデバイスの信頼性試験に笑顔で取り組む共同研究先企業の飛田さん。

午後５時ころ・・・フランスＣＮＲＳの研究者 (Katia [heart] David) にマスクアライナの使い方を伝授するくめむらさん＠藤田研。

2008-04-14

午後５時・・・Ｍ２輪講のリハーサル中。先輩学生（ＰＤ、Ｄ２、Ｄ１）がチェック中。

2008-04-22

午前１０時・・・今日は台湾から共同研究の打ち合わせの来客があり、ラボ環境などを案内。

参考:
ＭＥＭＳ系クリンルーム・レイアウト