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References

  1. Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Satoshi Maruyama, Makoto Mita, Kazuya Masu, and Hiroshi Toshiyoshi, "A Single-platform Simulation and Design Technique for CMOS-MEMS Based on a Circuit Simulator with Hardware Description Language," IEEE/ASME J. Microelectromech. Syst., vol. 22, no. 3, Jun. 2013, pp. 755-767.
  2. 年吉 洋、小西敏文、「機械じかけのワンチップ加速度センサICからイメージ・センサまで」 CQ出版・トランジスタ技術、2017年5月号

LTspice for MEMS


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