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先端物質デバイス論
東京大学工学系研究科 先端学際工学専攻「先端物質デバイス論」(2013年度冬学期)オムニバス形式†
- 授業全体のテーマ 半導体ナノテクノロジーと情報化社会
- 年吉担当のテーマ MEMS技術のエレクトロニクス応用
講義日程†
- 2013年10月2日(水)
- 13:00〜14:40(3時限)MEMSイントロダクション
- 14:45〜16:25(4時限)MEMSプロセス
- 2013年10月9日(水)
- 13:00〜14:40(3時限)静電マイクロアクチュエータ設計法、パラドックス問題
- 14:45〜16:25(4時限)電気回路シミュレータを用いた微分方程式(運動方程式+回路方程式)の解法