Research High Light 2022

2022-07-03 (日) 10:50:47 (40d)

振動発電型MEMSエナジーハーベスタ
MEMS Vibrational Energy Harvester

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本格的なIoT(Internet of Things)を実現するには低消費電力のエレクトロニクスに加えて、それらを永続的に駆動する電源が必要です。現状では電池・太陽電池が使われることが多いのですが、夜間・暗所では発電できません。そこで本研究室では自然環境・人工物にあまねく存在する環境振動に着目して、機械振動から発電するエナジーハーベスタをMEMS技術(Microelectromechanical Systems Technology)を用いて実現しました。

Practical deployment of IoT (Internet of Things) requires low-power microelectronics as well as their ever-lasting power source. Recent trials use batteries and solar-cells but they cannot produce power at night or in a dark place. In our MEMS lab, we develop MEMS (microelectromechanical systems) type vibrational energy harvester that produces electrical power from the mechanical vibrations in natural environment and man-made machines.

MEMS波長可変光源を用いたOCT
Optical Coherence Tomography using MEMS Wavelength-Tunable Laser Diode

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静電駆動型のMEMSファブリ・ペロ光干渉計を面発光型レーザーと組み合わせることで、波長可変レーザーを構成しました。さらにこの光源を用いて光断層計測装置(OCT:Optical Coherence Tomography)を実現しており、眼軸長や角膜、網膜の状態を調べる医療用の計測機器として製品化しています。本研究は2002年以降20年以上にわたって産学協創研究を継続しているsantec株式会社との共同研究成果です。

Combining an electrostatically driven MEMS Fabry-Perot interferometer and a VCSEL (vertical-cavity surface-emitting laser), we have developed a wavelength-tunable laser diode that is used in an OCT (optical coherence tomography) system for ophthalmologic inspections including axial-length measurement as well as corneal and retinal examinations. This work has been performed in collaboration with SANTEC Corp. since 2002.

薄膜トランジスタを用いた臓器連環バイオ計測
Multi-organ Interlink Analysis using Thin-Film Transistors

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液晶ディスプレイの駆動に用いられる薄膜トランジスタ電極アレイ基板の上で心筋細胞や神経細胞を培養し、細胞電位をin vitro計測できるようになりました。次のステップとして、心臓や脳等の臓器間連携を調べるためにin vivo計測に取り組みます。本研究は生産技術研究所のティクシエ三田アニエス先生との共同研究です。

Electrophysiological measurement of cultured cells (cardiac cells and neuron cells) has been made possible on a thin-film transistor array that is also used to drive liquid-crystal displays. As a next step, we plan to implant the TFT device for in vivo multi-organ interlink analysis. This work is performed with Dr. Agnès Tixier-Mita of Institute of Industrial Science.