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#author("2019-02-22T01:26:46+00:00","default:hiroshi","hiroshi")

[[IIS Open House 2007]]
|BGCOLOR(white):|BGCOLOR(white):|c
|#ref(logo2007.png,[[IIS Open House 2007]],100%)|SIZE(20){光ファイバでエネルギー伝送、画像伝送する}|
|~|SIZE(20){MEMS光スキャナ応用光ファイバ内視鏡}|
|~|東京大学生産技術研究所 年吉研究室、santec株式会社|
|~|説明の対象 光MEMS、医療応用一般|
|体の中の、特に血管の内壁を観察するための光ファイバ内視鏡(顕微鏡)の実現を目指して、MEMS光スキャナの開発を行っています。光ファイバで導入した赤外光を光スキャナで走査して組織に投影し、戻ってくる光をOCT光学系(光断層光学系)で調べて断層写真を撮ります。MEMS光スキャナの駆動には電圧を必要としますが、外部から電線を用いて供給する方法は感電のおそれがあります。そこで、光ファイバを通る光でエネルギーを供給し、内視鏡の中で発電する方法を採用しました。|#ref(body.png,,30%)|
|全体の光学系は、エネルギーを供給する駆動光と観察用の光源で構成されます。異なる光を一本の光ファイバに導入する技術は、波長多重光通信の応用です。|#ref(endoscopesystem.png,,40%)|
|外部から供給した駆動用の光(波長1.5μm)を電圧に変換するための太陽電池を搭載しています。電圧供給に電線を用いないので、体内に不用意に電流を流すおそれが回避できます。また、医療現場の電磁波と干渉せずに体内を観察できます。|#ref(endoscopehead.png,,60%)|
|内視鏡のパッケージ・デモとして、直径5mm程度のガラス管内に光学組み立てした例です。|#ref(octpackage.png,,50%)|
|光を走査する機構として、シリコンバルクマイクロマシニングによるマイクロ静電光スキャナを開発中です。ミラーの両端にある垂直櫛歯型電極に電圧を印加すると、共振周波数で反射光を走査することができます。|#ref(octscanner.png,,60%)|
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