Research/NEDO-MEH/Poster 2015

トリリオンセンサ社会を支える高効率ＭＥＭＳ振動発電デバイスの研究
A Study on High Efficiency MEMS Micro Energy Harvesters for Trillion Sensor Society†

研究開発の背景
R&D Background†

社会・交通インフラモニタリング用無線センサや、ウェアラブル端末・ヘルスケア端末に代表される未来社会技術を実現するため、年間１兆個の超小型センサを生産・消費するトリリオンセンサ時代の到来が予想されています。本研究では、超小型メンテナンスフリー無線センサ端末に必要不可欠な、ＭＥＭＳ発電素子の実現に取り組みます。

So-called trillion-sensors era is around the corner, where we consume trillions of sensors a year to support various types of near-future sensor applications for social infrastructures, traffic systems, wearable computers, and health-care devices. This project develops MEMS energy harvesters that is the most essential component in maintenance-free wireless sensor nodes.

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研究開発の内容と目標
Project Objectives†

本研究では、独創的な高密度固体イオンエレクトレット技術と、大容量イオン液体可変キャパシタ技術を新たに導入したＭＥＭＳ振動発電デバイスを開発します。直径２０ｍｍ程度の一円玉サイズの面積で、発電効率を従来比２桁以上に飛躍的に高めることで、２０２０年には１０ｍＷ級の振動発電を可能にするためのデバイス設計・製作・評価技術を確立します。

We employ the novel high-density solid-ion electret technology and the liquid-ion capacitor technology to develop MEMS energy harvesters. Power-conversion efficiency is 100 times improved from the conventional types by the newly developed design, fabrication, and characterization technology, thereby targeting 10-mW class energy harvester by year 2020.

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