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Architecture of OXC with Electrostatic Torsion Mirrors

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Bulk and Surface Micromachined Torsion Mirrors

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Reference

  1. Hiroshi Toshiyoshi, Hiroyuki Fujita, "Electrostatic Micro Torsion Mirrors for an Optical Switch Matrix," IEEE J.Microelectromechanical Systems Vol. 5, No. 4 (1996.12), pp. 231-237.

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Last-modified: Thu, 08 May 2008 22:50:20 JST (3483d)