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OXC (Optical Cross Connect) by Micro 2D Lens Scanner

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マイクロレンズをXY平面で駆動すると自由空間光スキャナとして用いることができます.特に,光ファイバ用のスイッチとして組み込むことにより,レンズの微小駆動によって光学アラインメントの調整が可能になり,また,レンズの粗動によってチャネル間の光スイッチ動作もできます.光学解析によると,焦点距離1mmのマイクロレンズを20cmの間隔で対向配置した場合,光ファイバピッチ2mm間のスイッチングを行うにはレンズを20μmだけ機械的に駆動すればよいことがわかります.

Micro XY Stage Mechanism

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シリコン製のマイクロレンズを2次元駆動するために,櫛歯型の静電アクチュエータで動くダブル・ジンバルXYステージを開発しました(駆動電圧40V).駆動のための電圧は,アクチュエータを機械的に支持するサスペンションを経由して与えられます.

Micro XY Stage by SOI Micromachining

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左の電子顕微鏡写真は実際に製作したレンズ型の2次元光スキャナです.内部のステージには,高低差3ミクロンのシリコンレンズが形成されており,幅2ミクロン,長さ500ミクロンの折れ曲がりサスペンションは,櫛歯型静電アクチュエータによって柔軟に駆動されます.

Contact Investigators

Kazuhiro Takahashi and Ho Nam Kwon

References

  1. Kazuhiro Takahashi, Kunihiko Saruta, Makoto Mita, Hiroyuki Fujita, and Hiroshi Toshiyoshi, "An Optical Scanner with Electrostatic Comb Drive XY-Stage," IEEE/LEOS Int. Conf. on Optical MEMS and Their Applications (Optical MEMS 2004), Takamatsu, Japan, Aug. 22-26, 2004, pp. 56-57.

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Last-modified: Thu, 08 May 2008 23:40:15 JST (3483d)