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応物・集積化MEMS技術研究会10周年ワークショップを開催しました。 2018-03-18

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第65回応用物理学会春期学術講演会で集積化MEMS技術研究会主催の特別シンポジウム「集積化MEMSの発展と展望〜集積化MEMS技術研究会発足10周年記念シンポジウム」を開催しました。

昨年10月の集積化MEMSシンポジウムで発表した論文2件が表彰されました。 2018-03-18

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  • 本間浩章、三屋裕幸、橋口 原、藤田博之、年吉 洋、「左右対称構造により静電拘束力を抑制した低G用のMEMS振動発電素子」 応用物理学会 集積化MEMS技術研究会主催 第9回集積化MEMSシンポジウム、2017年10月31日~11月2日、広島国際会議場.(優秀論文賞
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  • 小西敏文、山根大輔、佐布晃昭、曽根正人、年吉 洋、益 一哉、町田克之、「積層メタル技術を用いたMEMS慣性センサの構造設計のための粘性定数モデルの検討」 応用物理学会 集積化MEMS技術研究会主催 第9回集積化MEMSシンポジウム、2017年10月31日~11月2日、広島国際会議場.(優秀ポスター賞

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Last-modified: Mon, 19 Mar 2018 09:58:17 JST (241d)